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痕量氣體是大氣中濃度低于10E-6的粒種,，比如潔凈大氣中穩(wěn)定的痕量氣體有氦,、氪,、氙等,；不穩(wěn)定的有二氧化碳,、氧化亞氮,、甲烷,、氫和臭氧,；很不穩(wěn)定的有一氧化碳,、二氧化氮、二氧化硫,、硫化氫和水蒸氣等,。它們參與大氣化學(xué)循環(huán)，在大氣中的滯留期為幾天至幾十年,，甚至更長,。它們中有一些是天然排放的，但有一部分是由于人類活動大量排放了各種痕量粒種,，這些痕量粒種受到各種物理,、化學(xué)、生物,、地球過程的作用并參與生物地球化學(xué)的循環(huán),，對全球大氣環(huán)境及生態(tài)造成了重大影響。
痕量氣體在線分析儀用一束紅外光透過檢測室射入檢測器,，測量過程中通過切換電磁閥將采用氣體和參比氣體切換通入檢測室,。測量樣氣和參比氣體使用相同的氣體（例如零點氣體）時，無法產(chǎn)生調(diào)制信號,，因此不會產(chǎn)生漂移,，解決了 痕量氣體分析中的零點漂移宜問題。而且使用雙光路檢測氣室,，以相反的相位導(dǎo)入測量樣氣和參比氣體,，可實現(xiàn)了長期安定穩(wěn)定運行，無需光學(xué)調(diào)整,。
一般情況下,，作為工業(yè)用氣體使用的氧氣，氮氣是通過空氣分離來制造的,。首先將除去水分和CO2的原料空氣通入分離裝置,，分離裝置時利用氮氣、氬氣和氧氣三者氣體的沸點不同進行分離出不同氣體,。氫氣和氦氣也是利用類似的氣體分離裝置制備,。GA-370測量實例。高純度氮氣、氬氣,、氧氣制造行業(yè)痕量氣體的測定,。除去水分、CO2后原料氣體中痕量氣體的測量,。
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