透射電鏡是目前材料科學(xué)領(lǐng)域常用的分析儀器，廣泛地應(yīng)用于各個領(lǐng)域,。透射電鏡，全稱透射電子顯微鏡,，簡稱TEM，是一種把經(jīng)加速和聚集的電子束透射到非常薄的樣品上,，電子與樣品中的原子碰撞而改變方向,，從而產(chǎn)生立體角散射。散射角的大小與樣品的密度,、厚度等相關(guān),，因此可以形成明暗不同的影像，影像在放大,、聚焦后在成像器件（如熒光屏,，膠片以及感光耦合組件）上顯示出來的顯微鏡,。 

TEM系統(tǒng)由以下幾部分組成：

1、電子槍：發(fā)射電子,。由陰極,，柵極和陽極組成。陰極管發(fā)射的電子通過柵極上的小孔形成射線束,，經(jīng)陽極電壓加速后射向聚光鏡,，起到對電子束加速和加壓的作用。

2,、聚光鏡：將電子束聚集得到平行光源,。聚光鏡處在電子槍的下方，一般由2～3級組成,，從上至下依次稱為第1、第2聚光鏡(以C1 和C2表示),。C1和C2的結(jié)構(gòu)相似,，但極靴形狀和工作電流不同，所以形成的磁場強度和用也不相同,。C1為強磁場透鏡,，C2為弱磁場透鏡，各級聚光鏡組合在一起使用,，可以調(diào)節(jié)照明束斑的直徑大小,，從而改變了照明亮度的強弱。

3,、樣品桿：裝載需觀察的樣品,。樣品臺必須能做水平面上X、Y方向的移動,，以選擇,、移動觀察視野，相對應(yīng)地配備了2個操縱桿或者旋轉(zhuǎn)手輪,，這是一個精密的調(diào)節(jié)機構(gòu),，每一個操縱桿旋轉(zhuǎn)10圈時，樣品臺才能沿著某個方向移動3mm左右?，F(xiàn)代高檔電鏡可配有由計算機控制的馬達(dá)驅(qū)動的樣品臺,，力求樣品在移動時精確，固定時穩(wěn)定,；并能由計算機對樣品做出標(biāo)簽式定位標(biāo)記,，以便使用者在需要做回顧性對照時依靠計算機定位查找，這是在手動選區(qū)操作中很難實現(xiàn)的,。

4,、物鏡：聚焦成像,，一次放大。致力于提高一臺電鏡的分辨率指標(biāo)的核心問題,便是對物鏡的性能設(shè)計和工藝制作的綜合考核,。盡可能地使之焦距短,、像差小，又希望其空間大,，便于樣品操作,，但這中間存在著不少相互矛盾的環(huán)節(jié)。

5,、中間鏡：二次放大,，并控制成像模式（圖像模式或者電子衍射模式）。

6,、投影鏡：三次放大,。對中間鏡和投影鏡這類放大成像透鏡的主要要求是：在盡可能縮短鏡筒高度的條件下，得到滿足高分辨率所需的最高放大率,，以及為尋找合適視野所需的最低放大率,；可以進(jìn)行電子衍射像分析，做選區(qū)衍射和小角度衍射等特殊觀察,；同樣也希望它們的像差,、畸變和軸上像散都盡可能地小。

7,、熒光屏：將電子信號轉(zhuǎn)化為可見光,，供操作者觀察。熒光屏的中心部分為一直徑約10cm的圓形活動熒光屏板,，平放時與外周熒屏吻合,，可以進(jìn)行大面積觀察。使用外部操縱手柄可將活動熒屏拉起,，斜放在45°角位置,，此時可用電鏡置配的雙目放大鏡,在觀察室外部通過玻璃窗來精確聚焦或細(xì)致分析影像結(jié)構(gòu)；而活動熒光屏*直立豎起時能讓電子影像通過,，照射在下面的感光膠片上進(jìn)行曝光,。

8、CCD相機：電荷耦合元件,，將光學(xué)影像轉(zhuǎn)化為數(shù)字信號,。