方阻測試儀可以測試不同材料的方塊電阻

來源：寧波瑞柯微智能科技有限公司 2021年07月16日 09:05

方阻測試儀是用來測量半導(dǎo)體材料（主要是硅單晶,、鍺單晶、硅片）電阻率,，以及擴(kuò)散層,、外延層、 ITO 導(dǎo)電箔膜,、導(dǎo)電橡膠方塊電阻的測量儀器,。

FT-340系列方阻測試儀采用四探針雙電測量方法，適用于生產(chǎn)企業(yè),、高等院校,、科研部門，是檢驗和分析導(dǎo)體材料和半導(dǎo)體材料質(zhì)量的一種重要的工具,。本儀器配置各類測量裝置可以測試不同材料,。液晶顯示，無需人工計算,，并帶有溫度補(bǔ)償功能,。

影響探頭法測試方阻精度的因素有：

（1）要求探頭邊緣到材料邊緣的距離大大于探針間距，一般要求10倍以上,。

（2）要求探針頭之間的距離相等,，否則就要產(chǎn)生等比例測試誤差。

（3）理論上講探針頭與導(dǎo)電薄膜接觸的點越小越好,。但實際應(yīng)用時,，因針狀電極容易破壞被測試的導(dǎo)電薄膜材料，所以一般采用圓形探針頭,。

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