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納米壓痕儀主要用于微納米尺度薄膜材料的硬度與楊氏模量測(cè)試,，測(cè)試結(jié)果通過力與壓入深度的曲線計(jì)算得出，無需通過顯微鏡觀察壓痕面積 .
主要應(yīng)用
半導(dǎo)體技術(shù)(鈍化層,、鍍金屬,、Bond Pads)；存儲(chǔ)材料(磁盤的保護(hù)層,、磁盤基底上的磁性涂層,、CD的保護(hù)層)；光學(xué)組件(接觸鏡頭,、光纖、光學(xué)刮擦保護(hù)層),；金屬蒸鍍層,；防磨損涂層(TiN, TiC, DLC, 切割工具)；藥理學(xué)(藥片,、植入材料,、生物組織)；工程學(xué)(油漆涂料,、橡膠,、觸摸屏、MEMS)等行業(yè),。
技術(shù)特點(diǎn)
1,、*符合ISO14577、ASTME2546,；
2,、光學(xué)顯微鏡自動(dòng)觀察；
3,、*的熱漂移控制技術(shù),；
4、可硬度,、剛度,、彈性模量、斷裂剛度,、失效點(diǎn),、應(yīng)力－應(yīng)變、蠕變性能等力學(xué)數(shù)據(jù),；
5,、適時(shí)測(cè)量載荷大小,；
6,、采用獨(dú)立的載荷加載系統(tǒng)與高分辨率的電容深度傳感器,；
7、快速的壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)的載荷反饋系統(tǒng),；
8,、雙標(biāo)準(zhǔn)校正：熔融石英與藍(lán)寶石 。
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