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1、電子光學(xué)部分
2,、真空系統(tǒng)
3,、供電控制系統(tǒng)
整個電子光學(xué)部分*置于鏡筒之內(nèi),，自上而下順序排列著電子槍,、聚光鏡,、樣品室,、物鏡、中間鏡,、投影鏡,、觀察室、熒光屏,、照相機(jī)構(gòu)等裝置,。根據(jù)這些裝置的功能不同又可將電子光學(xué)部分分為照明系統(tǒng)、樣品室,、成像系統(tǒng)及圖像觀察和記錄系統(tǒng),。
(1)照明系統(tǒng)
照明系統(tǒng)由電子槍、聚光鏡和相應(yīng)的平移對中及傾斜調(diào)節(jié)裝置組成,。它的作用是為成像系統(tǒng)提供一束亮度高,、相干性好的照明光源,。為滿足暗場成像的需要照明電子束可在2-3度范圍內(nèi)傾斜,。
①電子槍
它由陰極,、柵極和陽極構(gòu)成。在真空中通電加熱后使從陰極發(fā)射的電子獲得較高的動能形成定向高速電子流,。
②聚光鏡
聚光鏡的作用是會聚從電子槍發(fā)射出來的電子束,，控制照明孔徑角、電流密度和光斑尺寸,。
(2)樣品室
樣品室中有樣品桿,、樣品杯及樣品臺。
(3)成像系統(tǒng)
成像系統(tǒng)一般由物鏡,、中間鏡和投影鏡組成,。物鏡的分辨本領(lǐng)決定了電鏡的分辨本領(lǐng)，中間鏡和投影鏡的作用是將來自物鏡的圖像進(jìn)一步放大,。
(4)圖像觀察與記錄系統(tǒng)
該系統(tǒng)由熒光屏,、照相機(jī)、數(shù)據(jù)顯示等組成,。
2,、真空系統(tǒng)
真空系統(tǒng)由機(jī)械泵、油擴(kuò)散泵,、換向閥門,、真空測量儀奉及真空管道組成。它的作用是排除鏡筒內(nèi)氣體,，使鏡筒真空度至少要在托以上,。如果真空度低的話，電子與氣體分子之間的碰撞引起散射而影響襯度,，還會使電子?xùn)艠O與陽極間高壓電離導(dǎo)致極間放電,，殘余的氣體還會腐蝕燈絲，污染樣品,。
3,、供電控制系統(tǒng)
加速電壓和透鏡磁電流不穩(wěn)定將會產(chǎn)生嚴(yán)重的色差及降低電鏡的分辨本領(lǐng)，所以加速電壓和透鏡電流的穩(wěn)定度是衡量電鏡性能好壞的一個重要標(biāo)準(zhǔn),。
透射電鏡的電路主要由高壓直流電源,、透鏡勵磁電源、偏轉(zhuǎn)器線圈電源,、電子槍燈絲加熱電源,，以及真空系統(tǒng)控制電路、真空泵電源,、照相驅(qū)動裝置及自動曝光電路等部分組成,。另外,，許多高性能的電鏡上還裝備有掃描附件、能譜議,、電子能量損失譜等儀器,。
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