清潔度無塵室不受外在之空氣條件的變化,,其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性,。主要作用在于控制產品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,,使產品能在一個良好之環(huán)境空間中生產、制造,,此空間我們稱之為無塵室,。
清潔度無塵室可控制空氣懸浮微粒濃度,從而達到適當的微粒潔凈度級別,。無塵室是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子,、有害空氣、細菌等之污染物排除,,并將室內之溫度,、潔凈度、室內壓力,、氣流速度與氣流分布,、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內,,而所給予特別設計之房間,。
清潔度無塵室是一個人造的環(huán)境,里面含有的粒子遠低于一般的環(huán)境,,隨著集成電路的級數的快速成長,,也增加了對制造環(huán)境(無塵室)潔凈度要求,在工業(yè)上即使使粒子之尺寸想小于0.1微米.也可能阻礙產品的運作或降低其壽命,。
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