陶瓷電容式薄膜真空計(jì)與電阻計(jì)熱偶計(jì)有什么不同

薄膜真空計(jì)是迄今為止得到*的可作為低真空測量（0.01--100Pa）工作副標(biāo)準(zhǔn)的一種真空儀器，也是我國推薦采用的具有法定計(jì)量校準(zhǔn)檢定規(guī)程的一種真空度計(jì)量器具（校準(zhǔn)參照規(guī)程：Q/WHJ46-1998標(biāo)準(zhǔn)型電容薄膜真空計(jì)校準(zhǔn)規(guī)程）

（本公司的薄膜真空計(jì)產(chǎn)品小量程為：0.001~10Pa,、寬量程為0.01Pa~100kPa，新型結(jié)構(gòu)，復(fù)合式雙電容薄膜真空規(guī)）

注意了,，此處與學(xué)生版的文章絕對不一致,，以此為準(zhǔn)
電容薄膜真空計(jì)是一種絕壓、全壓測量的真空計(jì),，原理是把加于電容薄膜上的壓力變化產(chǎn)生膜片間距離的變化,，即產(chǎn)生了電容的變化，再通過鑒頻器把電容變化轉(zhuǎn)換成為電流或電壓的變化,，組成為輸出信號,，所以，它的測量是直接反映了真空壓力的變化值,，而且只與壓力有關(guān),，與氣體成分無關(guān)，即：薄膜真空計(jì)是一種直接測量式的,、全壓型的真空計(jì),。

而我們常用的真空計(jì)往往是電阻計(jì)、熱偶計(jì)等等間接測量的熱傳導(dǎo)型的真空測量方法,，簡單一點(diǎn)來說,，就是通過測量感受氣體溫度的方法來間接測量氣體壓強(qiáng)（真空度），是一種類似于大家很熟悉熱電阻,、熱電偶的測量方法,。由于測量原理上的先天不足，這類真空計(jì)的測量精度,、測量穩(wěn)定度是很不好的,。其測量誤差一般比薄膜真空計(jì)大1~2個(gè)以上數(shù)量級（誤差大于30%，行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)是±50%,？）,，尤其是在低真空段，誤差更大,。使用過電阻計(jì),、熱偶計(jì)的度知道，測量前還需要零點(diǎn),、滿度校正一下,，不然誤差還會(huì)更大。另外,，不同成分的氣體其熱傳導(dǎo)系數(shù)是不一樣的,，這種工況時(shí)，電阻計(jì),、熱偶計(jì)測量值會(huì)增加變化±20-50%,。

所以,，要使用熱偶計(jì)、電阻計(jì)準(zhǔn)確測量真空度是很難的,。

不過,，它確實(shí)也有它的優(yōu)點(diǎn)的：制造容易、價(jià)格低廉,，還普遍使用著,。用過的都領(lǐng)教過它的煩心。許多人抱怨花了3,、4千元買到進(jìn)口的真空傳感器也誤差大,、毛病多?就是因?yàn)槔贤獾倪@個(gè)價(jià)位的產(chǎn)品還是老的熱傳導(dǎo)測量機(jī)理的真空傳感器。所以選擇真空計(jì),、真空傳感器,、首先要看測量技術(shù)的*性，而不是只看是不是進(jìn)口的,、數(shù)字,、智能，等等,；測量機(jī)理陳舊,，再怎么數(shù)字、怎么智能,，也于事無補(bǔ)的,。

現(xiàn)代真空應(yīng)用技術(shù)的發(fā)展，涉及的應(yīng)用范圍越來越廣泛,、真空應(yīng)用設(shè)備對儀器儀表的要求越來越高,，特別是對測量精度、穩(wěn)定性要求,、以及自動(dòng)控制性能要求也越來越高,，這直接關(guān)系到真空設(shè)備的整體性能質(zhì)量，關(guān)系到真空應(yīng)用技術(shù)或應(yīng)用工藝的應(yīng)用效果,，甚至于整個(gè)項(xiàng)目成功與否,。

在精細(xì)化工、真空冶煉,、真空單晶爐,、真空熱處理、真空浸漬,、真空冷凍干燥,、真空絕緣處理、電真空器件,、半導(dǎo)體材料生產(chǎn),、高特新材料,、新能源設(shè)備等等行業(yè)中尤其特出,。
許多新設(shè)備,、新工藝、新產(chǎn)品的開發(fā)之所以老是無法實(shí)現(xiàn)預(yù)想的技術(shù)指標(biāo)和效果,，往往就是因?yàn)檎婵諟y控儀表選型不當(dāng),、其實(shí)際的測量控制精度無法達(dá)到設(shè)計(jì)要求所造成的。

國外的薄膜真空計(jì)的其典型代表如MKS-626\627,、英?？礣CBG等等）。

  根據(jù)國內(nèi)設(shè)備的情況,，新型薄膜真空計(jì)采用了兩種基本結(jié)構(gòu)：

1.薄膜真空規(guī)+智能儀表型,、

2.真空壓力變送器（標(biāo)準(zhǔn)型號輸出）型。

采用專門設(shè)計(jì)的具有真空測控特點(diǎn)的精密二次儀器儀表,，借籍于現(xiàn)代智能儀表技術(shù)的科技成果,，有利于提供測量的精度、分辨率,、穩(wěn)定性和可靠性,，增加智能化的自動(dòng)控制功能，（可以配接任何一種模擬量,、數(shù)字量的接口,，比進(jìn)口的薄膜真空計(jì)更靈活、更方便）
實(shí)踐證明,，具有現(xiàn)代智能儀表技術(shù)的新型陶瓷薄膜真空計(jì)使用到（環(huán)保能源生物醫(yī)藥常用設(shè)備的）真空濾清,、真空精餾真空冷凍干燥機(jī)、真空單晶爐,、氣氛真空爐,、、真空鍍膜機(jī)等設(shè)備,，做真空測量和自動(dòng)控制帶來極大地方便和性能提高,，可以快速升級為智能型的真空應(yīng)用設(shè)備。當(dāng)然,，也可以用到科研實(shí)驗(yàn)室,、計(jì)量室作為相應(yīng)的真空段的0.1級標(biāo)準(zhǔn)器，陶瓷芯片的優(yōu)異性能使其年穩(wěn)定度達(dá)到0.1%以上,；



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如果您一直在使用電阻計(jì),、熱偶計(jì)、甚至古老的麥?zhǔn)险婵沼?jì),，
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