渦旋,，20世紀(jì)就已經(jīng)有了渦旋技術(shù)的,。但當(dāng)時(shí)技術(shù)水平的限制,，渦旋制造不出來,，渦旋也就被淡忘了,。1973年渦旋機(jī)構(gòu)被重新提起并制造出第一臺(tái)模型機(jī)構(gòu),，使這項(xiàng)技術(shù)實(shí)際應(yīng)用成為可能,。渦旋機(jī)構(gòu)的可*性高,、運(yùn)行平穩(wěn),、噪音極低、節(jié)省能源等潛力和巨大優(yōu)勢(shì)馬上引起了冰箱行業(yè)的重視和迫切需求,，大受行業(yè)青睞,，迅速被投入工業(yè)化應(yīng)用。Trance,、Hitachi,、Copland等著名公司的渦旋壓縮機(jī)技術(shù)與產(chǎn)品了世界渦旋技術(shù)實(shí)用化的浪潮，帶動(dòng)了如冰箱,、空調(diào)等諸多行業(yè)的技術(shù)進(jìn)步和產(chǎn)品的更新?lián)Q代,。
 

　　現(xiàn)在渦旋技術(shù)已經(jīng)由初期的應(yīng)用在壓縮機(jī)行業(yè)推廣到真空泵制造業(yè)，實(shí)現(xiàn)了全無油,、運(yùn)行更平穩(wěn),、噪音更低、更加節(jié)省能源的渦旋清潔真空獲得技術(shù)的實(shí)用化,。人li們應(yīng)用渦旋概念與原理制造出了對(duì)真空應(yīng)用儀器設(shè)備和環(huán)境沒有污染,并且抽速,、壽命、能耗等指標(biāo)均優(yōu)于普通油泵的單級(jí),、雙級(jí)無油渦旋真空泵系列產(chǎn)品,。90年代初，世界上*渦旋真空泵推向市場(chǎng),，渦旋技術(shù)由此開始作為一種新型真空獲得技術(shù)在世界范圍內(nèi)被推廣應(yīng)用,。目前為止,，世界上渦旋真空泵的生產(chǎn)廠家集中在美國(guó)、日本和歐洲,，以日本的Anestta,、美國(guó)的Varian、德國(guó)的Busch等為代表,。產(chǎn)品包括了自0.25L/S到10L/S系列產(chǎn)品,，有些15L/S或更大抽氣量的產(chǎn)品也在試驗(yàn)階段。
 

　　清潔的真空環(huán)境一直是科學(xué)家和企業(yè)界追求的理想真空環(huán)境.自能夠創(chuàng)造真空環(huán)境開始,人們就試圖采用不同手段達(dá)到清潔真空的效果.時(shí)至今日,清潔真空獲得設(shè)備已經(jīng)發(fā)展到冷凝泵,、住賽泵,、爪式泵、渦旋泵以及隔膜泵等多種產(chǎn)品,。
 

　　在現(xiàn)有的無油真空泵當(dāng)中,無油渦旋真空泵與其他種類的無油真空泵相比具有下述特點(diǎn):
 

　?、?無油，無摩擦——真空腔內(nèi)無油,，非接觸,，無磨損，不產(chǎn)生微粒塵埃污染,，可獲得清潔真空;
 

　?、?抽氣量大——雙渦旋盤，結(jié)構(gòu)與單級(jí)相比相同直徑泵抽氣容積為2倍,，節(jié)省能源;
 

　?、?抽氣效率高——帶有3-4個(gè)抽氣單元，壓差小;大氣與真空之間由O型圈密封,，泄漏低;
 

　?、?非接觸,良好平衡,力矩影響小，噪音低,，振動(dòng)小;
 

　?、?結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊，相同尺寸下,，運(yùn)動(dòng)半徑小,，運(yùn)行平穩(wěn);
 

　　⑥.體積小,，維修方便,，維護(hù)費(fèi)用低;
 

　　⑦.采用空氣冷卻,，無需水冷,。
 

　　無油渦旋真空泵應(yīng)用在
 

　　①.半導(dǎo)體行業(yè)——薄膜制備設(shè)備,、半導(dǎo)體器件封裝設(shè)備;
 

　?、?科學(xué)儀器行業(yè)——同步輻射光束線,、電子顯微鏡、分析測(cè)試儀器;
 

　?、?機(jī)械設(shè)備行業(yè)——材料制備設(shè)備,、真空檢測(cè)、材料提純?cè)O(shè)備;
 

　?、?化學(xué)工業(yè);
 

　?、?醫(yī)療設(shè)備——牙科儀器、透析機(jī),、生物制品與藥品制備;
 

　?、?包裝行業(yè)——食品、藥品,、生物制品等包裝設(shè)備,。
 

　　無油渦旋真空泵主要由5個(gè)部件組成：
 

　　①.動(dòng)靜渦旋盤付與基座;
 

　?、?曲軸;
 

　?、?密封墊;
 

　　④.防自轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu);
 

　?、?電機(jī)。
 

　　無油渦旋真空泵的渦旋盤就是一個(gè)一端與一個(gè)平面相接的一個(gè)或幾個(gè)漸開線螺旋形成的一個(gè)渦旋型盤狀結(jié)構(gòu)體,。一個(gè)靜渦旋盤與一個(gè)動(dòng)渦旋盤相互交*組裝在一起,，兩者之間由防自轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)保證180。相位差,，這樣結(jié)合組成的一對(duì)渦旋盤付構(gòu)成了無油渦旋真空泵的基本抽氣機(jī)構(gòu),。靜渦旋盤與動(dòng)渦旋盤彼此之間在幾條直線(即橫截面渦旋線上的幾個(gè)點(diǎn))上接觸形成對(duì)稱的幾對(duì)月牙腔，動(dòng)渦旋盤在曲軸的驅(qū)動(dòng)下繞靜渦旋盤的渦旋體中心運(yùn)動(dòng),，使靜渦旋盤與動(dòng)渦旋盤的接觸點(diǎn)沿渦旋曲面移動(dòng)實(shí)現(xiàn)吸氣,、壓縮與排氣。例如在雙級(jí)無油渦旋真空泵中,，有兩個(gè)方向?qū)?yīng)的靜渦旋盤,，一個(gè)位于兩個(gè)渦旋盤之間的動(dòng)渦旋盤。動(dòng),、靜渦旋盤相對(duì)運(yùn)動(dòng)形成容積不斷變化的新月形真空腔使氣體從抽氣口吸人,、排氣口排出，完成吸氣,、壓縮,、排氣的循環(huán)。曲軸每轉(zhuǎn)一轉(zhuǎn),，就有一組新的月牙腔形成,，所以無油渦旋真空泵的吸氣,、壓縮、排氣循環(huán)以近1500轉(zhuǎn)/分的頻率被連續(xù)重復(fù),對(duì)被抽氣體形成包容和強(qiáng)制輸送,。
 

　　無油渦旋真空泵(Oilfreescrloovacuumpump)與普通油真空泵相比具有顯著的特點(diǎn),。下面以普通旋片真空泵為例，說明其差別：
 

　　無油渦旋真空泵的主要優(yōu)點(diǎn)主要包括：
 

　?、?密封性良好,沒有向機(jī)械泵那樣直接連接吸,、排氣腔的泄漏通道,容易密封,容易達(dá)到較高的真空度;
 

　　②.回轉(zhuǎn)半徑小,，動(dòng)靜渦旋盤相對(duì)滑動(dòng)速度僅為旋片真空泵的1/7左右,，動(dòng)靜渦旋盤之間的動(dòng)密封相對(duì)容易，有利于延長(zhǎng)泵的使用壽命;
 

　?、蹓嚎s進(jìn)程必較緩慢,，有2個(gè)或者3個(gè)壓縮過程同時(shí)進(jìn)行，壓縮腔相對(duì)曲軸對(duì)稱,，這樣泵的運(yùn)轉(zhuǎn)過程平穩(wěn),、驅(qū)動(dòng)力矩和氣體沖擊波動(dòng)小，使泵的噪音和振動(dòng)降低,。
 

　　總而言之,，無油渦旋真空泵結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、具有較高的壓縮比,，在較寬的壓力范圍內(nèi)有穩(wěn)定的抽速,，工作壓力范圍寬;動(dòng)靜渦旋盤之間間隙小、泄漏少,，由于壓縮腔容積的變化是連續(xù)的,，因而驅(qū)動(dòng)扭矩變化小，功率變化小,振動(dòng)噪聲低,，可*性高,。這是其它類型的干式真空泵所不具備的。
 

　　由于普通旋片油泵的漏油,、噪聲,、返油污染、高能耗以及振動(dòng)等問題給用戶造成不良影響,，如生物制品行業(yè)與半導(dǎo)體行業(yè)的油蒸汽污染與工藝系統(tǒng)返油問題,。真空鍍膜設(shè)備的鍍膜工藝中，在20～40Pa真空條件下鍍膜時(shí),，如果應(yīng)用普通旋片機(jī)械真空泵作為前級(jí)真空泵將對(duì)鍍膜工藝設(shè)備造成污染,，影響成膜質(zhì)量。半導(dǎo)體晶片制造工藝當(dāng)中使用油泵與使用于泵相比，成品率存在明顯的差距,，并且排出的油霧蒸汽對(duì)環(huán)境也有污染.科學(xué)儀器行業(yè)尤其是在分析測(cè)試儀器行業(yè),，采用油泵對(duì)測(cè)試結(jié)果將造成不良影響。大型同步輻射光束線上采用無油渦旋真空泵作為前級(jí)真空泵的作用也相當(dāng)明顯,。另外無油渦旋真空泵消除了普通油泵的漏油給用戶帶來的環(huán)境污染與煩惱?，F(xiàn)有無油渦旋真空泵用戶的使用情況也證明了這種泵的*性和可*性。
 

　　為防止普通旋片油真空泵對(duì)真空系統(tǒng)的返油污染,需要在抽氣系統(tǒng)中加冷阱捕獲油分子;系統(tǒng)運(yùn)行過程當(dāng)中還需要定期清洗除油;有的需要定期更換真空泵油.采用無油渦旋真空泵第一部需要加冷阱之類捕油機(jī)構(gòu),、第二不需要更換真空泵油,、第三振動(dòng)更小、運(yùn)行更平穩(wěn),、第四能耗降低,、第五重量更輕、第六突破了油泵使用范圍的限制,。這些優(yōu)點(diǎn)使無油渦旋真空泵成為普通旋片油真空泵的更新?lián)Q代產(chǎn)品,。
 

　　無油渦旋真空泵主要部件為渦旋盤付曲軸和密封墊.該泵的抽氣——壓縮——排氣機(jī)理是在動(dòng)、靜渦旋盤相互不接觸的情況下,，依*動(dòng),、靜渦旋盤相對(duì)轉(zhuǎn)動(dòng)形成吸氣腔和壓縮腔，將被抽氣體排出,，連續(xù)完成吸氣,、壓縮和排氣過程。在充分考慮抽氣過程中發(fā)生熱交換的情況下,，盡量減少動(dòng),、靜渦盤問的徑向和軸向間隙,可以提高抽速和極限真空度。針對(duì)無油渦旋真空泵結(jié)構(gòu)上存在著的運(yùn)轉(zhuǎn)過程中水分和雜質(zhì)易積聚和軸承易磨損的弱點(diǎn),加氣鎮(zhèn)閥是必要的選擇,。
 

　　結(jié)構(gòu)上的改進(jìn)主要有兩點(diǎn)：
 

　　①.加氣鎮(zhèn)閥使極限真空度保持要求值——進(jìn)氣壓力O.03MPa(G)以下,，流量lOL/min以下;
 

　?、?軸承端面加雙側(cè)密封圈密封，有效防止軸承磨損,。
 

　　在無油渦旋真空泵的設(shè)計(jì)過程中,，需要解決的問題包括：
 

　　①.渦旋泵的CAD設(shè)計(jì)一一型線方程的確定及修正,，初始角修正,，運(yùn)動(dòng)模擬;
 

　　②.渦旋盤的加工一一加工精度,、加工工藝間隙的大?。撼樗佟O限真空度;
 

　?、?渦旋盤的表面處理一一耐腐蝕,、潤(rùn)滑,、硬度、處理工藝,、表面均勻性;
 

　?、?密封墊材料的選擇與加工——密封墊要求有彈性、耐磨,、不產(chǎn)生微粒,。
 

　　使用前與使用過程中應(yīng)當(dāng)注意的安全事項(xiàng)包括：無油渦旋真空泵的抽氣范圍(用于抽潔凈氣體。不能抽有毒,、易燃,、易爆、腐蝕性氣體,、化學(xué)品,、溶劑及粉末等)。安裝要求(安裝在沒有易燃,、易爆物品,、避雨、無蒸汽的安全場(chǎng)所),。安裝在水平面上(傾角小于5,。)。周圍無灰塵,、無鐵屑,、石塊或木塊。一定要安全接地,。一定要安裝緊急制動(dòng)開關(guān),。接線要由合格的電工完成)。在合適的工作環(huán)境溫度(5～40℃)內(nèi)工作,。正確安裝使用(接線或檢查時(shí)必須切斷電源,，不能將手指或其他物品放人泵的氣孔或冷卻翅片的間隙中)。正確維修檢驗(yàn)(根據(jù)本說明書要求定期檢查,，泵*冷卻后再進(jìn)行維護(hù)與檢驗(yàn)工作;由專門人士維修,，不能改造此泵)。
 

　　安裝前要認(rèn)真檢查下述各項(xiàng)：
 

　?、?檢查確認(rèn)包裝放置方向正確,。
 

　　②.檢查確認(rèn)產(chǎn)品為訂購的型號(hào),。
 

　?、?檢查確認(rèn)無破損。
 

　　④.泵運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)拆掉進(jìn)氣口與排氣口法蘭,。如果連續(xù)帶法蘭工作,，會(huì)對(duì)泵引起損害。
 

　　安裝時(shí)應(yīng)注意：
 

　?、?安裝在避雨,、無蒸汽的場(chǎng)所，避免電擊危險(xiǎn);
 

　?、?安裝在通風(fēng)良好,、隔絕爆炸物、無腐蝕性和yiran氣體及其他有關(guān)物體處,。
 

　?、?安裝在堅(jiān)實(shí)、平整面上(傾角小于5,。),，陽光不能直射處。
 

　?、?在規(guī)定環(huán)境溫度范圍(5—40℃)內(nèi)工作,。
 

　　要在真空室和進(jìn)氣口連線上安裝截止閥和排氣閥。這些閥用于開關(guān)無油渦旋真空泵時(shí)阻止泵中積存的碎屑被抽回真空室中,。開關(guān)泵時(shí)要先關(guān)閉截止閥,。連接管路一定要潔凈。建議使用軟管連接,，這樣泵的振動(dòng)不會(huì)傳到真空室,。連接排氣管時(shí)要注意管的長(zhǎng)度和尺寸。建議排氣管長(zhǎng)不超過15米,，內(nèi)徑25mm,。注意泵工作時(shí)排氣管不能堵塞。注意排氣壓力不能超過大氣壓,。連線時(shí)必須首先斷開電源,，由合格的電工連線。泵必須提供外部保護(hù),，如8L/s泵最小電路容量為單相、18A,，最大分路電流斷路器容量為15A,。一定要安裝推薦容量的電流斷路器以避免電機(jī)燒毀，電線和地線截面積一定要超過2mm2,。否則會(huì)引起損害或火災(zāi),。與電機(jī)接線端子連接的電線要配適當(dāng)?shù)膱A圈形接頭。一定要接地。否則可能引起電擊或人身傷害,。交貨時(shí)連線電壓為單相,，220伏。
 

　　無油渦旋真空泵在初次啟動(dòng)或者長(zhǎng)期不用時(shí)達(dá)到極限真空需要較長(zhǎng)時(shí)間,。應(yīng)在關(guān)閉進(jìn)氣閥狀態(tài)下連續(xù)抽氣6—8小時(shí),，每小時(shí)打開進(jìn)氣閥2～3次，每次3～5秒,。如果泵抽水或者高濕度氣體(相對(duì)濕度>60%),，水汽可能殘留在泵中降低泵的性能。這時(shí)關(guān)閉泵與系統(tǒng)之間的截止閥,，啟動(dòng)泵,，運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)打開進(jìn)氣閥進(jìn)大氣幾次，每次3—5秒,，可以將泵中的水汽排出,。泵工作時(shí)要拆去進(jìn)氣口法蘭和排氣口法蘭，否則會(huì)對(duì)泵有損害,。泵啟動(dòng)和關(guān)閉時(shí)要關(guān)閉截止閥,，否則開關(guān)泵時(shí)泵中積存的碎屑會(huì)被抽回真空室中。重新啟動(dòng)泵時(shí),，啟動(dòng)前要開啟進(jìn)氣閥進(jìn)大氣3—5秒,，否則會(huì)造成泵中溫度不平衡，導(dǎo)致泵失效,。
 

　　無油渦旋真空泵的啟動(dòng)步驟包括：
 

　?、?關(guān)閉截止閥(以免泵中積存的碎屑會(huì)被抽回真空室中(帶漏氣閥開寸耍開啟漏氣閥));
 

　　②.打開泵開關(guān);
 

　?、?開啟截止閥(檢查確認(rèn)真空泵已開啟,，使用漏氣閥時(shí)要關(guān)閉漏氣閥，抽真空室),。
 

　　停泵步驟包括：
 

　　(1)關(guān)閉截止閥(避免泵中積存的碎屑被抽回真空室);
 

　　(2)關(guān)閉泵開關(guān),。
 

　　(3)無油渦旋真空泵的操作——抽水汽
 

　　無油渦旋真空泵的維護(hù)標(biāo)準(zhǔn)是以抽潔凈氣體為基礎(chǔ)制定的，抽水汽標(biāo)準(zhǔn)不同,。
 

　　因此要注意下述各點(diǎn)：
 

　?、?抽水蒸汽泵的維護(hù)時(shí)間間隔必須縮短，因?yàn)樗臏囟?、抽除量,、抽除頻率和水汽中物質(zhì)成份對(duì)泵的工作都有影響。
 

　?、?抽水蒸汽時(shí),，要在規(guī)定溫度下工作,，進(jìn)氣溫度必須低于50℃。當(dāng)被抽氣體溫度高于50℃時(shí),，應(yīng)當(dāng)在無油渦旋真空泵與真空室之間的連接管路上安裝冷卻器或冷阱,，以降低進(jìn)氣溫度，使之低于50,。進(jìn)氣溫度高于50℃會(huì)對(duì)無油渦旋真空泵造成損害,。
 

　　③.抽水汽時(shí)要加氣鎮(zhèn)閥,，無油渦旋真空泵抽水蒸汽會(huì)導(dǎo)致水汽在泵內(nèi)凝結(jié),。凝結(jié)的水汽會(huì)引起泵極限真空度降低，或者對(duì)泵造成損害,。氣鎮(zhèn)閥不僅能抽水汽,，還能維持極限真空。
 

　　氣鎮(zhèn)閥的使用注意事項(xiàng)
 

　　所謂氣鎮(zhèn)閥及其作用概念非常簡(jiǎn)單,，就是在容積式真空泵的壓縮室上開一小孔,，裝上一個(gè)調(diào)節(jié)閥。打開此調(diào)節(jié)閥啟動(dòng)無油渦旋真空泵,，當(dāng)動(dòng)渦旋盤轉(zhuǎn)動(dòng)某一位置時(shí),，空氣就通過小孔摻人壓縮室以降低壓縮比，從而使大部分水蒸氣不至于凝結(jié),，和摻入的氣體一起被排出泵外,。這樣就達(dá)到了抽水蒸汽的目的。而這個(gè)調(diào)節(jié)閥就是氣鎮(zhèn)閥,。氣鎮(zhèn)閥的使用注意事項(xiàng)包括：
 

　　(1)抽水汽時(shí),，必須開啟氣鎮(zhèn)閥抽氣。如果氣鎮(zhèn)閥關(guān)閉抽氣,，水汽會(huì)在泵內(nèi)積結(jié),，對(duì)泵造成損害。
 

　　(2)抽水汽后,，必須在開啟氣鎮(zhèn)閥狀態(tài)下再抽氣超過l小時(shí),，如果抽水汽后立即關(guān)閉氣鎮(zhèn)閥，水汽會(huì)在泵內(nèi)積結(jié),，對(duì)泵造成損害,。
 

　　(3)當(dāng)給氣鎮(zhèn)閥口充氮?dú)饣蚋稍锎髿鈺r(shí)，要將壓力控制在大氣壓內(nèi),，流量小于lONL/min,氣壓高會(huì)對(duì)泵造成損害,。
 

　　(4)當(dāng)被抽真空室內(nèi)濕度高于60%時(shí)，—定要開啟氣鎮(zhèn)閥,。
 

　　(5)一定要在泵開啟前,、關(guān)閉后，開啟和關(guān)閉氣鎮(zhèn)閥,，千萬不能在泵工作過程中關(guān)閉氣鎮(zhèn)閥,。泵工作時(shí)改變氣鎮(zhèn)閥工作狀態(tài)(開啟或關(guān)閉)會(huì)使泵損壞，造成人身傷害,。
 

　　抽水汽時(shí),，泵的啟動(dòng)步驟包括：
 

　　(1)關(guān)閉截止閥(以免開關(guān)泵時(shí)泵中積存的碎屑會(huì)被抽回真空室中(帶漏氣閥時(shí)要開啟漏氣閥));
 

　　(2)打開氣鎮(zhèn)閥(拆下絲堵，換上氣體過濾器即可);
 

　　(3)打開泵開關(guān);
 

　　(4)開啟截止閥(檢查確認(rèn)真空泵已開啟,，使用漏氣閥時(shí)要關(guān)閉漏氣閥,，抽真空室)。
 

　　抽水汽時(shí),，停泵步驟包括：
 

　　(1)關(guān)閉截止閥(避免泵中積存的碎屑被抽回真空室;
 

　　(2)關(guān)閉泵開關(guān);
 

　　(3)關(guān)閉氣鎮(zhèn)閥(結(jié)束氣鎮(zhèn)閥工作時(shí),，拆下氣體過濾器，用扳手輕輕擰上絲堵),。
 

　　檢查與維護(hù)注意事項(xiàng)
 

　　(1)無油渦旋真空泵為防止碎屑在泵中沉積,，每天抽大氣幾次，每次3～5秒,。
 

　　(2)要注意高溫,，在泵足夠冷卻后，再進(jìn)行檢查與維護(hù),。停泵后立即維修可能引起燒傷,。
 

　　(3)檢查與維護(hù)之前一定要切斷電源。否則可能引起電擊或被旋轉(zhuǎn)物傷害,。
 

　　(4)如果安裝與工作條件差,、工作環(huán)境溫度超過規(guī)定，請(qǐng)縮短維護(hù)間隔,。環(huán)境溫度是泵失效的主要影響因,。標(biāo)準(zhǔn)維護(hù)間隔是以環(huán)境溫度5～40℃，年平均溫度25℃為基礎(chǔ)制定的,。
 

　　檢查與維護(hù)內(nèi)容要點(diǎn)
 

　　故障診斷與排除：幾年來用戶在無油渦旋真空泵的使用過程中,，陸續(xù)發(fā)現(xiàn)了各種問題，也總結(jié)了問題解決的方法,。歸納起來,，不外乎下述各種。如果出現(xiàn)故障,，可以參照下表排除之,。如果自己不能解決問題，可以聯(lián)系賣泵的經(jīng)銷商和生產(chǎn)單位,。同時(shí)筆者歡迎用戶提出使用中的問題,，以利于無油渦旋真空泵的進(jìn)一步改進(jìn),。
 

　　國(guó)內(nèi)以半導(dǎo)體、電子工業(yè)為代表的制造工藝當(dāng)中和科學(xué)研究與分析測(cè)試行業(yè)迫切需要無油污染的清潔真空環(huán)境,，但是清潔真空獲得設(shè)備如冷凝泵,、柱賽泵、爪式泵,、渦旋泵以及隔膜泵等目前都沒有形成可**的批量國(guó)產(chǎn)產(chǎn)品,。進(jìn)口無油渦旋真空泵作為一種新產(chǎn)品，由于本文前述的價(jià)格,、市場(chǎng)的開拓和用戶的認(rèn)識(shí)程度等原因,，沒有形成良性循環(huán)。這樣,，一方面是迫切的市場(chǎng)需求,，另一方面從價(jià)格與技術(shù)雙方面看沒有合適的產(chǎn)品，造成了極大的市場(chǎng)缺口,。
 

　　無疑問價(jià)格適中,、性能可*的無油渦旋真空泵將成為適合中國(guó)市場(chǎng)要求產(chǎn)品的主流,大力發(fā)展渦旋無油真空泵勢(shì)在必行。研制符合中國(guó)市場(chǎng)要求的渦旋類及其它無油真空泵系列產(chǎn)品及其檢測(cè)技術(shù)手段也成為中國(guó)真空獲得行業(yè)進(jìn)一步發(fā)展的一個(gè)契機(jī),。
 

　　無油渦旋真空泵故障診斷表
 

　　為解決我國(guó)科學(xué)研究和新材料,、半導(dǎo)體等行業(yè)發(fā)展面臨的技術(shù)手段存在的基礎(chǔ)、共性問題,，近年來已經(jīng)不斷有業(yè)內(nèi)專家向國(guó)內(nèi)介紹渦旋無油真空泵技術(shù)及其發(fā)展現(xiàn)狀,，國(guó)外渦旋無油真空泵生產(chǎn)廠家與代理對(duì)中國(guó)市場(chǎng)的開發(fā)使其在中國(guó)市場(chǎng)的銷量在逐年增長(zhǎng)。國(guó)內(nèi)真空行業(yè)相關(guān)企業(yè)也開展了基礎(chǔ),、應(yīng)用研究及小規(guī)模試制無油渦旋真空泵生產(chǎn)等不同階段的探索,，只是由于技術(shù)基礎(chǔ)、激勵(lì)機(jī)制,、研發(fā)手段,、資金投入的限制，研發(fā)工作進(jìn)展不是非?？?。產(chǎn)品質(zhì)量、穩(wěn)定可靠性,、以及技術(shù)推廣與市場(chǎng)開拓規(guī)劃,、原則、手段等也是問題,。因此無油渦旋真空泵系列產(chǎn)品下一步產(chǎn)業(yè)化技術(shù)研發(fā)與市場(chǎng)開發(fā)是企業(yè)必須解決的兩大問題,。
 

　　隨著研發(fā)手段、資金投入,、市場(chǎng)開拓問題的解決,，無油渦旋真空泵將會(huì)打開市場(chǎng),，從而提高整個(gè)真空獲得行業(yè)的技術(shù)水平。成功的無油渦旋真空泵系列產(chǎn)品研發(fā)與市場(chǎng)開發(fā)模式也將為我國(guó)其他清潔真空獲得設(shè)備如冷凝泵,、柱塞泵,、爪式泵以及隔膜泵等提供有效的借鑒。