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高溫四探針測試儀測試電阻率的原理和介紹

來源:北京華測試驗儀器有限公司   2021年04月16日 13:01  

高溫四探針測試儀可以實現(xiàn)高溫,、真空及惰性氣氛條件下測量硅、鍺單晶(棒料,、晶片)電阻率和外延層,、擴散層和離子注入層的方塊電阻以及測量導(dǎo)電玻璃(ITO)和其他導(dǎo)電薄膜的方塊電阻,。

那么高溫四探針測試儀的測量原理是什么呢?

測量電阻率的方法很多,,如三探針法,、電容 -電壓法、擴展電阻法等,,四探針法則是一種廣泛采用的標(biāo)準(zhǔn)方法,,高溫四探針測試儀采用經(jīng)典直排四探針原理,同時采用了雙電測組合四探針法,。

直排四探針法

經(jīng)典的直排四探針法測試電阻率,,要求使用等間距的探針,,如果針間距離不等或探針有游移,就會造成實驗誤差,。當(dāng)被測片較小或在大片邊緣附近測量時,,要求計入電場畸變的影響進行邊界修正。

采用雙電測組合四探針的出現(xiàn),,為提高薄膜電阻和體電阻率測量準(zhǔn)確度創(chuàng)造了有利條件,。

目前雙電測組合(亦稱雙位組合)四探針法有三種模式:模式(1),模式(2),,模式(3),,高溫四探針測試儀采用模式(2),通過用計算機對三種模式的理論進行比較研究的結(jié)果表明:對無窮大被測片三種模式都一樣,,可是測量小片或大片邊緣位置時,,模式(2)好,它能自動消除邊界影響,,略優(yōu)于模式(3),,好于模式(1)。

那么高溫四探針測試儀采用雙電測組合四探針法有哪些優(yōu)勢呢,?

1,、采用雙電測組合四探針法進行測試,測試結(jié)果與探針間距無關(guān),,能夠消除間距不等及針尖機械游移變化的影響,,因此四探針測試臺允許使用不等距探針頭。

2,、采用雙電測組合四探針法具有自動修正邊界效應(yīng)的功能,,對小尺寸被測片或探針在較大樣品邊緣附近時,不需要對樣品做幾何測量,,也不必尋找修正因子,。

3、采用雙電測組合四探針法,,不移動四探針針頭,,同時使用三種模式測量,即可計算得到測試部位的電阻均勻性,。

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