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等離子體質譜ICP-MS由于分析速度快,、線性范圍寬,、可多元素測定,、檢出限低等優(yōu)點，被廣泛地應用于生物與醫(yī)學,、環(huán)境與食品,、地質、化學反應的機理研究,、鋼鐵,、同位素比測定、核材料,、貴金屬和高純物質分析等領域,。關于ICP-MS做半定量分析的應用報道也較多,。
ICP-MS用作半定量分析時可測定約80種元素，絕大多數元素誤差小于20%,。用內標校正空白和樣品分析之間的漂移,。Soldevila等系統(tǒng)地評估了ICP-MS多元素半定量分析時的工作參數（駐留時間，每次讀數的掃描次數,，每次重復的次數和總的重復次數）的影響,。
等離子體質譜ICP-MS的優(yōu)勢特點：
進樣系統(tǒng)：敞開式進樣系統(tǒng)結構，使用外部安裝的霧化器,，自我定位,，無需調整。
炬位調整系統(tǒng)：計算機控制x,、y,、z三維炬管位置，所有調整參數存入分析方法內,。
等離子體屏蔽技術：更大地提高儀器的靈敏度,，改善低質量數元素的檢出限,，達到ppt水平
活動閥門：計算機控制閥門,，保護儀器真空，便于在真空系統(tǒng)工作時拆裝和清洗采樣錐和截取錐,。
離子透鏡系統(tǒng)：配有高效率六極桿離子導向系統(tǒng),，在全質量范圍內獲得的離子傳輸效率，全自動的離子聚焦調諧過程,，真空室內的透鏡使用非對稱安裝,，方便拆裝定位。
檢測器：ETP雙模式檢測器,，分成兩部分分列打拿極電子倍增器,，無需數/模切換。
新型真空腔體結構：腔體內無任何導線連接,，各個組件采用不對稱安裝和插入式安裝,。
斷電保護系統(tǒng)：在意外停電發(fā)生時，安全自行關機,，而不損壞儀器系統(tǒng),。
軟件：提供自動控制儀器及其附件的能力，軟件囊括了多種分析方法,，包括特殊的同位素比值測定及同位素稀釋法,。
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