AVI系列技術(shù)優(yōu)勢:AVI系列能是隔震頻率實現(xiàn)大的分辨率,。

在所有的六個維度,，AVI系列可以實現(xiàn)亞赫茲的隔震性能,。在2Hz下可衰減90%的震動，在5Hz可衰減99%,，在10Hz可衰減99.8%

AVI系列特性:

可實現(xiàn)從0.5~200Hz的主動隔震頻率

超出200Hz可實現(xiàn)被動隔震

六個維度實現(xiàn)隔震

內(nèi)部反饋循環(huán)

緊湊,，模塊化的設(shè)計

安裝，使用簡單,，無需持續(xù)的維護

使用的技術(shù)

AVI系列內(nèi)部使用壓電振動傳感器,，在AVI系統(tǒng)內(nèi)部，至少具有八個壓電振動傳感器,。分別探測六個維度的震動數(shù)據(jù),。

另外，壓電加速計可以將動力學(xué)振動能量轉(zhuǎn)換為電子訊號,，從而轉(zhuǎn)換為控制電子信號,，電子協(xié)調(diào)和處理從各種壓電傳感器測來的信號,，并用算法進行處理。然后,，將把電子信號發(fā)送到執(zhí)行器,。實現(xiàn)信號的反饋。

使用效果

   使用主動隔震之前的SEM圖像

            使用被動隔震之后的SEM圖像

振動（Vibration）,，特別是20Hz 以下的低頻振動對電子顯微鏡（簡稱電鏡）的干擾影響很大,。如果測試結(jié)果表明準備安裝電鏡的場所振動超標，則必須采取適當措施,，否則電鏡廠家不能保證電鏡安裝后的性能可以達到設(shè)計標準,。一般可以選擇混凝土減震臺（Anti-Vibration Foundation）、被動式減震器(Passive-Vibration IsolationPlatform),、主動式減震器(Active-Vibration Isolation Platform)等幾種方法來改善或解決,。

  混凝土減震臺需要現(xiàn)場施工，且必須采取特殊方法（底部和周圍有彈性軟墊層
等）,，一般的土建施工方法有可能反而增加低頻（20Hz 以下）振動,。施工中有大
量土建材料進出難免影響周圍環(huán)境,?；炷翜p震臺的示意圖見。混凝土減震臺的質(zhì)量越大減振性越好,，經(jīng)多次實測,，小于10 噸的減震臺在1～10Hz 低頻段內(nèi)有諧振，反而增大了振動,。在被動式減震器中,，一般常用的橡膠、鋼彈簧,、空氣彈簧（汽缸）等方式的減震器因為它們在20Hz 以下的低頻段效果很差,，甚至往往由于諧振反而加大了振動，所以不考慮采用,。只有磁力減震器的低頻效果較好,。下圖是幾種減震方式的效果比較。

       主動式減震器一般常用的有壓電陶瓷式（性能好價格昂貴）,、空氣式（目前國
內(nèi)電鏡領(lǐng)域尚無成功的應(yīng)用報告）,、電磁式及電動機式等。它們的區(qū)別主要是執(zhí)行
機構(gòu)不同,，而三維探測器和PID 控制器都大同小異,。
壓電陶瓷式：利用壓電陶瓷的晶體壓電效應(yīng)產(chǎn)生等幅反相的三維內(nèi)部振動。
空氣式：由PID 控制器控制進（排）氣閥,，連續(xù)可控的壓縮空氣在特殊的汽
缸內(nèi)產(chǎn)生等幅反相的三維內(nèi)部振動,。
電磁式：PID 控制器分接控制三組電磁鐵產(chǎn)生等幅反相的三維內(nèi)部振動,。
主動式減震器的減振效果可以達到20Hz 以上約-22～-28dB。
不同形式的主動式減震器價格亦有較大的差異,。各種減震器在電鏡就位安
裝之前準備好,，與電鏡同時安裝。