濕度傳感器主要由電極,、感濕材料和電極基底等幾部分組成。其中上層電極由特殊的傳導(dǎo)材料制造,，能保證水分子通過(guò),，同時(shí)又保護(hù)濕敏材料不受灰塵、油污或?qū)щ娏Ｗ拥挠绊?。電極的基底材料常見(jiàn)為玻璃或硅,，主要用來(lái)支撐傳感器的結(jié)構(gòu)(見(jiàn)圖1)。感濕材料一般為氧化鋁或高分子活性聚合物薄膜,，能夠吸收水蒸氣,，并達(dá)到動(dòng)態(tài)平衡，其電參數(shù)如電容,、電阻、介電常數(shù)或頻率等與被測(cè)體系中水蒸氣含量具有某種直接或間接的函數(shù)關(guān)系,。測(cè)量系統(tǒng)測(cè)量濕敏元件電參數(shù)的變化,，并換算成相應(yīng)的露點(diǎn)值。

露點(diǎn)儀

4,、計(jì)置特性4．1 露點(diǎn)儀示值的準(zhǔn)確度在露點(diǎn)儀的測(cè)量范圍內(nèi),，給出儀器的修正值(或示值誤差)。4．2 露點(diǎn)儀的電信號(hào)值(注：針對(duì)于露點(diǎn)傳感器和變送器)對(duì)于不能直接顯示露點(diǎn)值的露點(diǎn)傳感器和變送器,，測(cè)量其電信號(hào)值(例如：電壓,、電流或其他電量值)。4．3 露點(diǎn)儀的穩(wěn)定性

在一定的時(shí)間間隔內(nèi)露點(diǎn)儀示值的變化量,，用℃／單位時(shí)間表示,。

露點(diǎn)儀

5、校準(zhǔn)條件5．1實(shí)驗(yàn)室環(huán)境條件實(shí)驗(yàn)室應(yīng)具備在校準(zhǔn)過(guò)程中確保濕度標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備和被校準(zhǔn)儀器正常工作的環(huán)境條件,，無(wú)明顯的震動(dòng)和強(qiáng)電磁干擾,。環(huán)境溫度一般在(23±5)℃，相對(duì)濕度不高于80％,。

5．2濕度標(biāo)準(zhǔn)儀器及其他設(shè)備5．2．1冷鏡式精密露點(diǎn)儀

冷鏡式精密露點(diǎn)儀作為濕度測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)儀器,，計(jì)量性能指標(biāo)如表1所示。

5．2．2濕度發(fā)生器

常見(jiàn)的有如下幾種類型：

a) 雙壓法濕度發(fā)生器,；b) 分流法(稀釋法)濕度發(fā)生器,；c) 雙溫法濕度發(fā)生器,；d) 滲透管濕度發(fā)生器。

濕度發(fā)生器的低濕工作范圍至少要達(dá)到露點(diǎn)(霜)點(diǎn)一50℃,，波動(dòng)性應(yīng)不大于0．2℃／30 min,。

露點(diǎn)儀

注：如果直接以濕度發(fā)生器作為濕度標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備，在露點(diǎn)(霜點(diǎn))低于一50℃時(shí),，要求濕度發(fā)生器的大允許誤差為土0．3℃,，在露點(diǎn)(霜點(diǎn))高于一50℃時(shí)，發(fā)生器的大允許誤差為土0．2℃,。

濕度發(fā)生器作為濕度標(biāo)準(zhǔn)儀器,，計(jì)量性能指標(biāo)如表2所示。

表2濕度發(fā)生器計(jì)量性能指標(biāo)

如果以濕度發(fā)生器作為配套設(shè)備,，要求配備精密露點(diǎn)儀作為濕度標(biāo)準(zhǔn)器,。5．2．3載氣校準(zhǔn)過(guò)程所用的載氣通常為高純氮?dú)饣蚩諝猓?霜)點(diǎn)應(yīng)低于一75℃,。否則需配備氣體干燥裝置,。5．2．4數(shù)字多用表：四位半。6校準(zhǔn)項(xiàng)目和校準(zhǔn)方法6．1校準(zhǔn)前的準(zhǔn)備工作檢查以下各項(xiàng)：儀器上應(yīng)有儀器的名稱,、型號(hào),、編號(hào)、制造廠名,、測(cè)量范圍,、輸入輸出信號(hào)等內(nèi)容的銘牌；指針式露點(diǎn)儀的儀表刻度應(yīng)清晰,，指針不得彎曲,；數(shù)顯式露點(diǎn)儀的數(shù)字顯示完整清晰；儀器電源線插接安全可靠,，各開(kāi)關(guān),、旋鈕或按鍵等功能正常。所有的氣路接口緊密牢固,，針閥,、快速插頭、轉(zhuǎn)向插頭等在工作壓力范圍內(nèi),，可保證氣密性,。使用符合要求的氣體管路連接標(biāo)準(zhǔn)濕度發(fā)生器、被校準(zhǔn)的露點(diǎn)儀或標(biāo)準(zhǔn)精密露點(diǎn)儀,。氣體管路系統(tǒng)的連接管應(yīng)為不銹鋼管,、紫銅管或管壁厚度大于1 mm的聚四氟乙烯(PTFE)管，不能使用塑料管、橡膠管,、乳膠管等,。整個(gè)管路系統(tǒng)的吹洗干燥過(guò)程應(yīng)該不少于3 h。

露點(diǎn)儀

6．2 露點(diǎn)儀的校準(zhǔn)

6．2．1露點(diǎn)儀的校準(zhǔn)過(guò)程一般是在常壓下進(jìn)行,。使用針閥調(diào)節(jié)載氣流量時(shí),，要在儀器的進(jìn)氣口進(jìn)行調(diào)節(jié)，禁止在露點(diǎn)儀的出氣口調(diào)節(jié)流量,。載氣的流量應(yīng)該盡量滿足被校準(zhǔn)儀器的要求,。6．2．2作為標(biāo)準(zhǔn)器的冷鏡式精密露點(diǎn)儀，要與被校準(zhǔn)的露點(diǎn)儀并聯(lián)連接,。

6．2．3 在系統(tǒng)的干燥過(guò)程結(jié)束后,，調(diào)節(jié)標(biāo)準(zhǔn)濕度發(fā)生器的參數(shù)，對(duì)露點(diǎn)儀進(jìn)行校準(zhǔn),。結(jié)合被校準(zhǔn)露點(diǎn)儀的工作范圍或客戶的要求,，一般從低濕到高濕的順序，期間不能通人濕度高于露點(diǎn)設(shè)定值的濕氣,。每個(gè)濕度點(diǎn)可以間隔10℃左右,，逐點(diǎn)進(jìn)行校準(zhǔn)。校準(zhǔn)點(diǎn)不能少于3個(gè),，Z低的兩個(gè)校準(zhǔn)點(diǎn)間隔應(yīng)不大于10℃,。6．2．4對(duì)于不需要干燥吹洗的露點(diǎn)儀，只要把露點(diǎn)儀直接連接到吹洗好的管路上直接進(jìn)行校準(zhǔn)即可,。6．2．5如果露點(diǎn)儀的生產(chǎn)廠商對(duì)儀器的干燥過(guò)程和校準(zhǔn)方法有特殊的要求,，參照生產(chǎn)廠商所提供的技術(shù)說(shuō)明書(shū)進(jìn)行校準(zhǔn)。6．2．6 當(dāng)濕度發(fā)生器和被校準(zhǔn)露點(diǎn)儀的變化量在30 min內(nèi)小于0．2℃時(shí),，可以認(rèn)為系統(tǒng)達(dá)到了平衡，記錄標(biāo)準(zhǔn)濕度發(fā)生器和精密露點(diǎn)儀的露點(diǎn)值及被校準(zhǔn)露點(diǎn)儀的露點(diǎn)顯示值,。對(duì)于露點(diǎn)傳感器或變送器,，用數(shù)字多用表或其他顯示儀表記錄其輸出的電信號(hào)值。

6．2．7如果在校準(zhǔn)過(guò)程中,，對(duì)被校準(zhǔn)露點(diǎn)儀的工作曲線,、電位器或其他參數(shù)進(jìn)行了調(diào)節(jié)，露點(diǎn)儀必須重新進(jìn)行校準(zhǔn),。6．2．8露點(diǎn)濕度傳感器或變送器的校準(zhǔn)過(guò)程與露點(diǎn)濕度計(jì)的過(guò)程相同,，在進(jìn)行數(shù)據(jù)處理的時(shí)候，需要把變送器輸出的電量值(如電壓,、電流或其他電信號(hào)值)換算成露點(diǎn)值,，計(jì)算被校準(zhǔn)儀器的修正值。

6．2．9根據(jù)露(霜)點(diǎn)標(biāo)準(zhǔn)值和被校準(zhǔn)露點(diǎn)儀的示值，計(jì)算被校儀器的修正值,。 6．2．10如果被校準(zhǔn)的露點(diǎn)傳感器或變送器的輸出電信號(hào)值與露點(diǎn)值之間有明確的對(duì)應(yīng)關(guān)系,，計(jì)算出被校準(zhǔn)儀器的露點(diǎn)值，并給出修正值,。

注：

1,、例如，被校準(zhǔn)儀器的輸出信號(hào)為4 mA～20 mA,，對(duì)應(yīng)于露點(diǎn)測(cè)量范圍--80℃～+20℃,，儀器的露點(diǎn)測(cè)量值的計(jì)算公式為：Td(℃)=（A-4÷0.16）-80，其中A為露點(diǎn)儀顯示的電流(mA)值,，Ta為露點(diǎn)儀的露點(diǎn)值,。

2、如果被校準(zhǔn)的露點(diǎn)傳感器或變送器輸出電信號(hào)值與露點(diǎn)值沒(méi)有直接的對(duì)應(yīng)關(guān)系,，則只需記錄露點(diǎn)標(biāo)準(zhǔn)值對(duì)應(yīng)的儀器電信號(hào)值即可,，不必給出修正值。

6．3露點(diǎn)儀的穩(wěn)定性(漂移)如果需要,，可以對(duì)露點(diǎn)儀的穩(wěn)定性進(jìn)行檢測(cè),。穩(wěn)定性檢測(cè)可以分為三個(gè)月、六個(gè)月或一年,。三個(gè)月的穩(wěn)定性檢測(cè)可以每隔一個(gè)月對(duì)儀器進(jìn)行一次校準(zhǔn),，六個(gè)月的穩(wěn)定性可以每?jī)蓚€(gè)月進(jìn)行一次校準(zhǔn)，一年的穩(wěn)定性可以每三個(gè)月進(jìn)行一次校準(zhǔn),。對(duì)于每一組測(cè)量結(jié)果,，選取極差值作為儀器的穩(wěn)定性(漂移)測(cè)量結(jié)果。

7,、校準(zhǔn)結(jié)果表達(dá)

經(jīng)過(guò)校準(zhǔn)的露點(diǎn)儀出具校準(zhǔn)證書(shū),。校準(zhǔn)證書(shū)應(yīng)給出露點(diǎn)儀的修正值及修正值的不確定度。

8,、復(fù)校時(shí)間間隔

建議露點(diǎn)儀復(fù)校時(shí)間間隔由送檢單位根據(jù)實(shí)際使用情況自主決定,。如果露點(diǎn)儀更換傳感器或濕敏元件，或者儀器的工作曲線,、零度和滿度調(diào)節(jié)調(diào)整,，儀器應(yīng)該重新進(jìn)行校準(zhǔn)。