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半導(dǎo)體晶圓由于需經(jīng)過各種不同流程的處理且需配合工藝設(shè)備,，因此會被搬運(yùn)到不同的工作站,。為了方便晶圓的搬運(yùn)且避免受到外力碰撞,，會將多個(gè)晶圓收納于晶圓暫存卡匣中,。
一般來說，晶圓暫存卡匣內(nèi)設(shè)置有逐層排列的多個(gè)插槽可水平容置多個(gè)晶圓,，且其一側(cè)面具有一開口可供晶圓的載出及載入,。再者，于開口處亦設(shè)置有可防止晶圓于搬運(yùn)時(shí)滑出的止擋構(gòu)件,。然而,，當(dāng)將存放晶圓的晶圓暫存卡匣搬運(yùn)至下一工作站時(shí)，作業(yè)人員常會忘記解除止擋構(gòu)件對晶圓的限位,，而導(dǎo)致機(jī)械手臂強(qiáng)行從開口將晶圓取出,，造成晶圓撞擊止擋構(gòu)件而破裂及損壞。此外,，晶圓暫存卡匣的插槽間距大于晶圓厚度,，且晶圓暫存卡匣的容置空間會大于晶圓面積，因此晶圓于搬運(yùn)過程中仍會在晶圓暫存卡匣內(nèi)晃動(dòng),，而與晶圓暫存卡匣相互碰撞,，此也會造成晶圓的破裂及損壞。因此,，如何有效降低作業(yè)人員誤動(dòng)作的機(jī)會及降低搬運(yùn)過程中晶圓暫存卡匣與晶圓間相互碰撞的機(jī)率是業(yè)界亟欲解決的課題之一,。
現(xiàn)在針對全自動(dòng)晶圓搬送機(jī)的卡匣放置需要一個(gè)穩(wěn)定且快捷安裝的卡匣裝置來配合。
為解決上述技術(shù)問題,，本實(shí)用新型所采用的技術(shù)方案是：一種晶圓搬送機(jī)的晶圓卡匣裝置,，其特征在于：所述晶圓卡匣裝置包括用于放置晶圓的卡匣載臺、用于控制卡匣載臺升降的升降軸傳動(dòng)裝置和用于安裝升降軸傳動(dòng)裝置的升降軸固定座,。
AL120晶圓搬送安全且符合人體工程學(xué)的設(shè)計(jì)確保了操作人員在搬送晶圓時(shí)(包括薄晶圓和變形晶圓)的效率和安全,。
AL120晶圓搬送對應(yīng)可使用FOUP(裝載口)和FOSB，適用于低成本的后期檢查,。安全且符合人體工程學(xué)的設(shè)計(jì)確保了操作人員在搬送晶圓時(shí)(包括薄晶圓和變形晶圓)的效率和安全,。人機(jī)工程學(xué)設(shè)計(jì)，操作方便,。
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