對半導(dǎo)體制造裝置發(fā)熱部的冷卻：單晶片洗凈轉(zhuǎn)載,、印刷機(jī)、自動(dòng)夾座安裝裝置、噴涂裝置、離子鍍裝置,、蝕刻裝置、單晶片處理裝置,、切片機(jī)、包裝機(jī),、顯影劑的溫度管理,、露光裝置、生磁部分的加熱裝置等,。對激光裝置發(fā)熱部分的冷卻：激光加工,、熔接機(jī)的發(fā)熱部分、激光標(biāo)志裝置,、發(fā)生裝置,、二氧化碳激光加工機(jī)等。  

低溫恒溫槽常見問題：

1,、低溫恒溫槽 水循環(huán)使用了一年多都很正常,，可現(xiàn)在制冷速度好像越來越慢了，在氣溫越高時(shí)越明顯,？

答：水循環(huán)使用很簡單,，但是定期的維護(hù)保養(yǎng)工作還是不能忽視的。有很多看似故障的毛病其實(shí)就是沒有定期做維護(hù)保養(yǎng)引起的,。水循環(huán)自身的電功率和制冷劑從負(fù)載中帶走的熱量都需要從前通風(fēng)罩處的散熱器中排走,，如果前通風(fēng)罩上吸滿灰塵和柳棉等就會(huì)妨礙這些熱量的散發(fā)，制冷效果將大打折扣,。一般來說在正常的使用條件下制冷量下降都是因?yàn)橥L(fēng)散熱效果太差或環(huán)境溫度太高引起的,。

2、低溫恒溫槽 水循環(huán)以前使用都很正常,，可現(xiàn)在發(fā)現(xiàn)噪音比以前大很多,，這是什么原因,？

答：前面提到過水循環(huán)的日常維護(hù)工作，這個(gè)問題也與之有關(guān),。大家都知道,，水里面有很少部分的雜質(zhì)，就是蒸餾水在加到水箱后也不可能*保證一點(diǎn)雜質(zhì)都沒有,。對于水循環(huán)而言,，一般溫度都設(shè)置在20℃，特別適應(yīng)微生物的生長和繁衍,。時(shí)間長了以后這些微生物就會(huì)堵塞水路的過濾器造成回水不暢,，水泵就會(huì)有較大的噪音。有時(shí)這些微生物附在了換熱器的表面,，造成換熱器的傳熱效果變差,，制冷量變小。所以一定要嚴(yán)格按照說明書中的要求做好日常維護(hù)工作,，定時(shí)清洗內(nèi)槽,，長期停用，保持槽內(nèi)干燥,。水循環(huán)里面好像有漏水,，有時(shí)地面一會(huì)兒就有幾滴，是不是水路上有地方泄漏,？ 一般來說在正常使用的過程中,，水路是不會(huì)有泄漏的。在環(huán)境溫度比較高空氣中的相對濕度又太大時(shí),，在水循環(huán)的水路中的水泵,、水管接頭、外接水管處容易凝結(jié)露水,，累積多了以后就滴到地面上了,，不用擔(dān)心是水路中有漏水的地方。如果您對這很介意的話,，打開空調(diào)降低房間溫度或是除濕都可以避免露水的產(chǎn)生,。