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清潔度無(wú)塵室是污染控制的基礎(chǔ),?？刂瓶諝鈶腋∥⒘舛?，從而達(dá)到適當(dāng)?shù)奈⒘崈舳燃?jí)別。無(wú)塵室是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子,、有害空氣,、細(xì)菌等之污染物排除，并將室內(nèi)之溫度,、潔凈度,、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布,、噪音振動(dòng)及照明,、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設(shè)計(jì)之房間,。
清潔度無(wú)塵室是一個(gè)人造的環(huán)境,，里面含有的粒子遠(yuǎn)低于一般的環(huán)境，隨著集成電路的級(jí)數(shù)的快速成長(zhǎng),，也增加了對(duì)制造環(huán)境(無(wú)塵室)潔凈度要求,，在工業(yè)上即使使粒子之尺寸想小于0.1微米.也可能阻礙產(chǎn)品的運(yùn)作或降低其壽命。清潔度無(wú)塵室較主要之作用在于控制產(chǎn)品（如硅芯片等）所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,，使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn),、制造。由于納米技術(shù)的興起，造成半導(dǎo)體關(guān)鍵尺寸持續(xù)縮小,，集成電路積集度不斷地增加,，塵粒更容易使芯片失效或可靠度惡化。例如當(dāng)金屬塵粒落到金屬導(dǎo)線(xiàn)時(shí),，就可能會(huì)使金屬導(dǎo)線(xiàn)形成短路,。如果有酸性的離子化合物塵粒掉在金屬導(dǎo)線(xiàn)上，可能將其腐蝕,，所以無(wú)塵室為集成電路制造*的要素,。
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