測(cè)量顯微鏡是采用用透,、反射的方式對(duì)工件長(zhǎng)度和角度作精密測(cè)量,。特別適用于錄像磁頭,、大規(guī)模集成電路線(xiàn)寬以及其它精密零件的測(cè)試儀器,。廣泛地適用于計(jì)量室,、生產(chǎn)作業(yè)線(xiàn)及科學(xué)研究等部門(mén),。工作臺(tái)除作X、Y坐標(biāo)的移動(dòng)外,，還可以作360度的旋轉(zhuǎn),，亦可以進(jìn)行高度方向做Z坐標(biāo)的測(cè)量；采用雙筒目鏡觀(guān)察。照明系統(tǒng)除作透,、反射照明外還可以作斜光線(xiàn)照明,。儀器進(jìn)一步可連接CCD電視攝像頭，作工件的輪廓放大,；亦可連接計(jì)算機(jī)進(jìn)行數(shù)據(jù)處理等測(cè)量,。

技術(shù)參數(shù)：

1、鏡筒：粗動(dòng)：調(diào)節(jié)范圍 90毫米,，微動(dòng)：調(diào)節(jié)范圍2毫米,，高（Z）測(cè)量：范圍1毫米，讀數(shù)_min0.001毫米（比較測(cè)量）,，鏡筒：雙目鏡筒 俯角45度,；

2、工作臺(tái)：左右（X軸）：移動(dòng)范圍25毫米,，前后（Y軸）：移動(dòng)范圍25毫米,，分辨率：1微米，旋轉(zhuǎn)：360度,；

3,、照明系統(tǒng)：光源：透射照明，8V12W 藍(lán),、綠色濾光片,、反射照明，8V12W 磨沙燈泡,、綠色透光片,、斜 照 明、8V12W綠色濾光片,、電源：AC220±22V 50/60Hz,；

4、光學(xué)系統(tǒng)：目鏡：BWF 10X,；物鏡：4X,、工作距離17.5、焦距28.8,，10X,、工作距離11.6、焦距15.4,，40X,、工作距離0.66、焦距4.4,；

5,、X---Y軸測(cè)量范圍：50×13mm,；

6、測(cè)微器分度值：0.01mm,；

7,、圓工作臺(tái)角度測(cè)量范圍：0°/360°；

8,、儀器測(cè)量準(zhǔn)確度：儀器示值誤差±(5+L/15),；

9、放大倍數(shù) 25×/100×