測(cè)量顯微鏡是采用用透,、反射的方式對(duì)工件長(zhǎng)度和角度作精密測(cè)量,。特別適用于錄像磁頭,、大規(guī)模集成電路線寬以及其它精密零件的測(cè)試儀器,。廣泛地適用于計(jì)量室,、生產(chǎn)作業(yè)線及科學(xué)研究等部門,。工作臺(tái)除作X,、Y坐標(biāo)的移動(dòng)外,,還可以作360度的旋轉(zhuǎn),,亦可以進(jìn)行高度方向做Z坐標(biāo)的測(cè)量;采用雙筒目鏡觀察,。照明系統(tǒng)除作透,、反射照明外還可以作斜光線照明。儀器進(jìn)一步可連接CCD電視攝像頭,,作工件的輪廓放大,;亦可連接計(jì)算機(jī)進(jìn)行數(shù)據(jù)處理等測(cè)量。
技術(shù)參數(shù):
1,、鏡筒:粗動(dòng):調(diào)節(jié)范圍 90毫米,,微動(dòng):調(diào)節(jié)范圍2毫米,高(Z)測(cè)量:范圍1毫米,,讀數(shù)min0.001毫米(比較測(cè)量),,鏡筒:雙目鏡筒 俯角45度;
2,、工作臺(tái):左右(X軸):移動(dòng)范圍25毫米,,前后(Y軸):移動(dòng)范圍25毫米,分辨率:1微米,,旋轉(zhuǎn):360度,;
3、照明系統(tǒng):光源:透射照明,,8V12W 藍(lán),、綠色濾光片、反射照明,,8V12W 磨沙燈泡,、綠色透光片,、斜 照 明、8V12W綠色濾光片,、電源:AC220±22V 50/60Hz,;
4、光學(xué)系統(tǒng):目鏡:BWF 10X,;物鏡:4X,、工作距離17.5、焦距28.8,,10X,、工作距離11.6、焦距15.4,,40X,、工作距離0.66、焦距4.4,;
5,、X---Y軸測(cè)量范圍:50×13mm;
6,、測(cè)微器分度值:0.01mm,;
7、圓工作臺(tái)角度測(cè)量范圍:0°/360°,;
8,、儀器測(cè)量準(zhǔn)確度:儀器示值誤差±(5+L/15);
9,、放大倍數(shù) 25×/100×
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