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掃描電子顯微鏡的優(yōu)點介紹

來源:德祥科技有限公司   2020年11月14日 15:44  
電子顯微鏡技術(shù)的應(yīng)用是建立在光學(xué)顯微鏡的基礎(chǔ)之上的,,光學(xué)顯微鏡的分辨率為0.2μm,,透射電子顯微鏡的分辨率為0.2nm,,也就是說透射電子顯微鏡在光學(xué)顯微鏡的基礎(chǔ)上放大了1000倍。
掃描電子顯微鏡的優(yōu)點介紹
掃描電子顯微鏡的電子束不穿過樣品,,僅以電子束盡量聚焦在樣本的一小塊地方,,然后一行一行地掃描樣本。入射的電子導(dǎo)致樣本表面被激發(fā)出次級電子,。顯微鏡觀察的是這些每個點散射出來的電子,,放在樣品旁的閃爍晶體接收這些次級電子,通過放大后調(diào)制顯像管的電子束強度,,從而改變顯像管熒光屏上的亮度。圖像為立體形象,,反映了標(biāo)本的表面結(jié)構(gòu),。顯像管的偏轉(zhuǎn)線圈與樣品表面上的電子束保持同步掃描,這樣顯像管的熒光屏就顯示出樣品表面的形貌圖像,,這與工業(yè)電視機的工作原理相類似,。由于這樣的顯微鏡中電子不必透射樣本,因此其電子加速的電壓不必非常高,。
掃描式電子顯微鏡的分辨率主要決定于樣品表面上電子束的直徑,。放大倍數(shù)是顯像管上掃描幅度與樣品上掃描幅度之比,可從幾十倍連續(xù)地變化到幾十萬倍,。掃描式電子顯微鏡不需要很薄的樣品,;圖像有很強的立體感;能利用電子束與物質(zhì)相互作用而產(chǎn)生的次級電子,、吸收電子和X射線等信息分析物質(zhì)成分,。 
掃描電子顯微鏡的制造是依據(jù)電子與物質(zhì)的相互作用。當(dāng)一束高能的入射電子轟擊物質(zhì)表面時,被激發(fā)的區(qū)域?qū)a(chǎn)生二次電子,、俄歇電子,、特征x射線和連續(xù)譜X射線、背散射電子,、透射電子,,以及在可見、紫外,、紅外光區(qū)域產(chǎn)生的電磁輻射,。同時,也可產(chǎn)生電子-空穴對,、晶格振動(聲子),、電子振蕩(等離子體)。 

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