覆層厚度測(cè)量已成為加工工業(yè),、表面工程質(zhì)量檢測(cè)的重要一環(huán)，是產(chǎn)品達(dá)到優(yōu)等質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)的*手段,。為使產(chǎn)品化,，我國出口商品和涉外項(xiàng)目中，對(duì)覆層厚度有了明確的要求,。

覆層厚度的測(cè)量方法主要有：楔切法,，光截法，電解法,，厚度差測(cè)量法,，稱重法，X射線熒光法,，β射線反向散射法,，電容法,、磁性測(cè)量法及渦流測(cè)量法等。這些方法中前五種是有損檢測(cè),，測(cè)量手段繁瑣,，速度慢，多適用于抽樣檢驗(yàn),。

X射線和β射線法是無接觸無損測(cè)量,，但裝置復(fù)雜昂貴，測(cè)量范圍較小,。因有放射源,，使用者必須遵守射線防護(hù)規(guī)范。X射線法可測(cè)極薄鍍層,、雙鍍層,、合金鍍層。β射線法適合鍍層和底材原子序號(hào)大于3的鍍層測(cè)量,。電容法僅在薄導(dǎo)電體的絕緣覆層測(cè)厚時(shí)采用,。

隨著技術(shù)的日益進(jìn)步，特別是近年來引入微機(jī)技術(shù)后,，采用磁性法和渦流法的測(cè)厚儀向微型,、智能、多功能,、高精度,、實(shí)用化的方向進(jìn)了一步。市面上很多涂層檢測(cè)儀測(cè)量的分辨率已達(dá)0.1微米,，精度可達(dá)到1%,，推薦德國EPK600涂層測(cè)厚儀，它適用范圍廣,，量程寬,、操作簡便且價(jià)廉，是工業(yè)和科研使用廣泛的測(cè)厚儀器,。

采用無損方法既不破壞覆層也不破壞基材,，檢測(cè)速度快，能使大量的檢測(cè)工作經(jīng)濟(jì)地進(jìn)行,。

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