安捷倫渦輪分子泵系統(tǒng)的操作注意事項(xiàng)

（1） 不能在前級(jí)泵工作時(shí)（前級(jí)管道接通） 和真空室處于真空狀態(tài)時(shí)將渦輪分子泵停掉，否則將會(huì)使油蒸汽迅速?gòu)那凹?jí)管路返流到泵的清潔端,。

（2） 分子泵系統(tǒng)在停機(jī)充干燥氣體前,，一定要先將分子泵冷卻水關(guān)閉，且要從泵的高真空端充氣,。決不能從泵的前級(jí)管路進(jìn)行充氣,。

（3）選擇抽氣系統(tǒng)前級(jí)泵的大小時(shí)，應(yīng)使渦輪分子泵的前級(jí)保持在分子流狀態(tài)下,。

（4）不能讓渦輪分子泵在低于額定工作轉(zhuǎn)速下運(yùn)轉(zhuǎn),。

（5）分子泵入口應(yīng)裝設(shè)防護(hù)網(wǎng)，以避免異物進(jìn)入泵內(nèi)損壞泵轉(zhuǎn)子和定子葉片,。

安捷倫渦輪分子泵系統(tǒng)的操作注意事項(xiàng)

盡量避免頻繁啟停

分子泵在勻速工作時(shí),，轉(zhuǎn)子葉片僅受到離心力的作用（真空下阻力很小可以忽略不計(jì)），即遠(yuǎn)離軸心的方向的拉力,；而在加速和減速的時(shí)候,，葉片還受到轉(zhuǎn)動(dòng)切線方向的力，相當(dāng)于對(duì)葉片進(jìn)行彎折的力,。顯而易見,，對(duì)葉片進(jìn)行彎折對(duì)其疲勞壽命的貢獻(xiàn)更大。

另外,，分子泵在加速時(shí)功率較大,，內(nèi)部發(fā)熱比較嚴(yán)重，頻繁的啟停（兩次啟動(dòng)間隔<30 分鐘）會(huì)造成熱量累積,，使分子泵內(nèi)部的溫度過高,，加劇軸承磨損。

根據(jù)工藝條件選擇適當(dāng)?shù)睦鋮s

分子泵的冷卻方式有三種：自然冷卻,、強(qiáng)制風(fēng)冷和水冷,。300 l/s 以下的分子泵，在沒有氣體負(fù)載的情況下,，可以采用自然冷卻,；較大的分子泵或者有一定的氣體負(fù)載時(shí)，需要選擇強(qiáng)制風(fēng)冷（風(fēng)扇冷卻）,；對(duì)于有些負(fù)載很大的應(yīng)用（比如CVD）,，或者不方便使用風(fēng)扇的環(huán)境（如輻射環(huán)境），需要采取水冷。