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高阻型霍爾效應(yīng)測試系統(tǒng)技術(shù)指標(biāo)

來源:北京錦正茂科技有限公司   2020年10月14日 09:42  

高阻霍爾效應(yīng)測試系統(tǒng)JH60E產(chǎn)品概述:

本儀器系統(tǒng)由電磁鐵,、電磁鐵電源,、高精度恒流源高精度電壓表,、霍爾效應(yīng)樣品支架、標(biāo)準(zhǔn)樣品,、高低溫杜瓦,,控溫儀,系統(tǒng)軟件,。為本儀器系統(tǒng)專門研制的 JH10 效應(yīng)儀將恒流源,,六位半微伏表及霍爾測量復(fù)雜的切換繼電器——開關(guān)組裝成一體,大大減化了實(shí)驗(yàn)的連線與操作,。JH10 可單獨(dú)做恒流源,、微伏表使用。用于測量半導(dǎo)體材料的載流子濃度,、遷移率,、電阻率、霍爾系數(shù)等重要參數(shù),,而這些參數(shù)是了解半導(dǎo)體材料電學(xué)特性必須預(yù)先掌控的,,因此霍爾效應(yīng)測試系統(tǒng)是理解和研究半導(dǎo)體器件和半導(dǎo)體材料電學(xué)特性*的工具,。 實(shí)驗(yàn)結(jié)果由軟件自動計(jì)算得到,可同時得到體載流子濃度(Bulk Carrier Concentration),、表面載流子濃度(Sheet Carrier Concentration),、遷移率(Mobility),、電阻率(Resistivity),、霍爾系數(shù)(Hall Coefficient)、磁致電阻)(Magnetoresistance)等

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高溫霍爾效應(yīng)測試系統(tǒng)JH60E技術(shù)指標(biāo):

* 磁 場:10mm 間距為 2T 30mm 間距為 1T

* 樣品電流:0.05uA~50mA(調(diào)節(jié) 0.1nA)

* 測量電壓:0.1uV~30V

* 提供各類測試標(biāo)準(zhǔn)材料,,各級別硅與砷化鎵(靈敏度與精度不同)

* 小分辨率:0.1GS

* 磁場范圍:0-1T

* 配合高斯計(jì)或數(shù)采板可計(jì)算機(jī)通訊

* I-V 曲線及 I-R 曲線測量等

* 霍爾系數(shù),、載流子濃度等參數(shù)隨溫度的變化曲線

* 電阻率范圍:10-7~1012 Ohm*cm

* 電阻范圍:10 m Ohms~ 6MOhms

* 載流子濃度:103~1023cm-3

* 遷移率:0.1~108cm2/volt*sec

* 溫度調(diào)節(jié) 0.1K

* 溫區(qū):293K-470K

* 測試全自動化,一鍵處理

* 可實(shí)現(xiàn)相同溫差間的連續(xù)測量

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各系統(tǒng)參數(shù):

高精度電磁鐵

極頭直徑 100mm;

N,,S 間距 10mm 時大磁場 20000Gs;

N,,S 間距 20mm 時大 13000 高斯;

N, S 間距 30mm 時大磁場 10000 高斯;

均勻區(qū):間距 60mm 時直徑 10mm均勻度范圍; 1%

自重 110 公斤 含支架及輪子

高精度雙極性恒流電源

輸出: ±10A±80V 功率;800W

① 電源輸出電流可在正負(fù)額定大電流之間連續(xù)變化

② 電流可以平滑過零點(diǎn),,非開關(guān)換向

③ 輸出電流,、電壓四象限工作(適合感性負(fù)載)

④ 電流變化速率可設(shè)置范圍為 0.0007~0.3 F.S./s(F.S.為額定大輸出電流)

※ 電流穩(wěn)定度高,紋波低

①電流穩(wěn)定度:優(yōu)于±25ppm/h(標(biāo)準(zhǔn)型),;優(yōu) 于±5ppm/h(高穩(wěn)型) ② 電流準(zhǔn)確度:±(0.01%設(shè)定值+1mA) ③ 電流分辨率:20 bit,,例 15A 電源,電流分辨率為 0.03mA

④ 源效應(yīng):≤ 2.0×10-5 F.S.(在供電電壓變化 10%時,,輸出電流變化量)

⑤ 負(fù)載效應(yīng):≤ 2.0×10-5 F.S.(在負(fù)載變化 10%時,,輸出電流變化量)

⑥ 電流紋波(RMS):小于 1mA

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高精度高斯計(jì):

精度:讀數(shù)的±0.30% ;

分辨力:0.01mT 量程:0-3T ;

探頭厚度:1.0mm ;

長度 100mm 數(shù)字;

Rs-232 接口數(shù)據(jù)讀取軟件配 GP3 型探頭

高斯計(jì)探頭支架及樣品架 全鋁非導(dǎo)磁支架 5-70mm 可調(diào)

樣品架夾具(按要求定制)

霍爾效應(yīng)系統(tǒng)軟件 可數(shù)字化調(diào)節(jié)磁場及電流,測試各類材料參數(shù)

高溫恒溫器: (293K-470K)高低溫真空容器

TESK301恒溫儀: 控溫(65k-600k)

真空泵 K25 真空泵

恒流源及測試表

恒流源量程:±50nA-±50mA;

分辨力 0.1nA 在量程范圍內(nèi)連續(xù)可調(diào),;

高精度電壓數(shù)采儀范圍 0. 1uV-30V

精度:0.01%

內(nèi)置測試矩陣轉(zhuǎn)換卡,;

歐姆接觸套件 根據(jù)不同材料的歐姆接觸制作套件

系統(tǒng)組成:

高溫霍爾效應(yīng)測試系統(tǒng)由電磁鐵、真空泵,、高溫真空腔,、高斯計(jì)、恒流源,、電磁鐵電流源,、控溫儀和計(jì)算機(jī)及軟件組成。其中,電磁鐵電流源給電磁鐵提供電流產(chǎn)生磁場,;高斯計(jì)測量電磁鐵產(chǎn)生的均勻磁場值,;恒流源一方面給樣品提供樣品測試電流,用于霍爾效應(yīng)測試,,一方面用來測量樣品反饋的霍爾電壓,;被測樣品置于高溫真空腔中,由高溫膠固定,,并作為四個測試點(diǎn),;高溫真空腔引出 4 根導(dǎo)線,兩個連接控溫儀進(jìn)行溫度的測量及控制,,另 1 根是高溫探頭引線連接到高斯計(jì)上,,還有 1 根是霍爾樣片連接線連接到恒流源上;計(jì)算機(jī)連接高斯計(jì),、控溫儀,、恒流源和電磁鐵電流源,通過軟件實(shí)現(xiàn)控制通過被測樣品的電流和磁場值,,并獲取測得的電壓值,。

可測試材料: ?

半導(dǎo)體材料:SiGe, SiC, InAs, InGaAs, InP, AlGaAs, HgCdTe 和鐵氧體材料等

低阻抗材料:石墨烯、金屬,、透明氧化物,、弱磁性半導(dǎo)體材料、TMR 材料等

高阻抗材料:半絕緣的 GaAs, GaN, CdTe 等




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