激光測量平面度的方法

平面度，是屬于形位公差中的一種,，指物體表面具有的宏觀凹凸高度相對理想平面的偏差,。在傳統(tǒng)的檢測方法中，平面度的測量通常有：塞規(guī)/塞尺測量法,、液平面法、激光平面干涉儀測量法（平晶干涉法）,、水平儀/數(shù)字水平儀測量法,、以及打表測量法。

　　塞尺測量法,，只需一套可隨身攜帶的塞尺就可隨時(shí)隨地進(jìn)行平面度的粗測,。目前很多工廠仍使用該方法進(jìn)行檢測。由于其精度不高,，常規(guī)塞尺為10um,，檢測效率較低，結(jié)果不夠全面,，只能檢測零件邊緣,。

　　液平面法，基于連通器工作原理,，適合測量連續(xù)或不連續(xù)的大平面的平面度,，但測量時(shí)間長，且對溫度敏感,，僅適用于測量精度較低的平面,。

　　激光平面干涉儀測量法，典型的用法是平晶干涉法,。但主要于測量光潔的小平面的測量,，如千分頭測量面,，量規(guī)的工作面，光學(xué)透鏡,。

　　水平儀測量法,，廣泛用于工件表面的直線度和平面度測量。測量精度高,、穩(wěn)定性好,、體積小、攜帶方便,。但是用該方法測量時(shí)需要反復(fù)挪動(dòng)儀器位置,，記錄各測點(diǎn)的數(shù)據(jù)，費(fèi)時(shí),、費(fèi)力,，調(diào)整時(shí)間長，數(shù)據(jù)處理程序繁瑣,。

　　打表測量法,，典型應(yīng)用為平板測微儀及三坐標(biāo)儀，其中優(yōu)以三坐標(biāo)儀為應(yīng)用廣泛,。測量時(shí)指示器在待測樣品上移動(dòng),，按選定的布點(diǎn)測取各測量點(diǎn)相對于測量基準(zhǔn)的數(shù)據(jù)，再經(jīng)過數(shù)據(jù)處理評定出平面度誤差,。但其效率較低,，通常一個(gè)樣品需要幾分鐘，離15ppm的期望相差甚遠(yuǎn),。

     我們可以提供激光測量平面度的方法,，利用德國lamtech激光平面度測量儀，可以快速測量平面度,，如航空航天,，汽車工業(yè)噴油嘴行業(yè)，泵,、閥門密封件表面,，以及光學(xué)工程，激光工程等領(lǐng)域都有應(yīng)用,。

    該激光測量平面度的方法測量效率高,，精度高，檢測一個(gè)只要1-3秒,，可以實(shí)現(xiàn)100%全檢,。