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當前的高效過濾器方法有：粒子計數(shù)器法,、光度計法,。光度計法不如粒子計數(shù)法靈敏。粒子計數(shù)法,，以粒子計數(shù)器作為檢測儀器,，使用單分散或多分散氣溶膠，靈敏度高,，多用于高效過濾器,。
粒子計數(shù)器跟光度計的區(qū)別在于，光度計采用火焰光度計,，對NACL燃燒的火焰色度作響應(yīng),，靈敏度低,，且NACL對微電子產(chǎn)品質(zhì)量有害，國外已不用,。
檢測儀器可使用氣溶膠光度計或粒子計數(shù)器,。粒子計數(shù)器檢測的是粒子數(shù)量的分布,，以粒/L單位表示,。而光度計檢測的是粒子質(zhì)量濃度，以mg/L表示,，多數(shù)量分布粒子與大濃度分布的粒子并不處于同一粒徑,。粒徑與重量成三次方關(guān)系，大粒徑的粒子在濃度分布中占有較大的比重,，因此在檢測效率過濾時,，使用粒子計數(shù)器和光度計得到的結(jié)果有差別，與粒子計數(shù)器相比,，光度計靈敏度很低,，因此不用來檢測H13級以上高效過濾器，對于制藥企業(yè)高效過濾器的撿漏而言,，光度計使用方便,，檢測結(jié)果易以判斷，對泄露檢測比較敏感和廣泛應(yīng)用,。
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