ICP-MS全稱是電感耦合等離子體-質(zhì)譜法(Inductively coupled plasma-Mass Spectrometry)它是一種將ICP技術(shù)和質(zhì)譜結(jié)合在一起的分析儀器,，它能同時測定幾十種痕量無機(jī)元素,，可進(jìn)行同位素分析、單元素和多元素分析,，以及有機(jī)物中金屬元素的形態(tài)分析。

1,、ICP-MS基本原理：

樣品進(jìn)行ICP-MS分析時一般經(jīng)過以下四步：

（1）分析樣品通常以水溶液的氣溶膠形式引入氬氣流中,，然后進(jìn)入由射頻能量激發(fā)的處于大氣壓下的氬等離子體中心區(qū)；

（2）等離子的高溫使樣品去溶劑化,、汽化解離和電離,；

（3）部分等離子體經(jīng)過不同的壓力區(qū)進(jìn)入真空系統(tǒng)，在真空系統(tǒng)內(nèi),，正離子被拉出并按其質(zhì)荷比分離,；

（4）檢測器將離子轉(zhuǎn)化為電子脈沖，然后由積分測量線路計數(shù),；

電子脈沖的大小與樣品中分析離子的濃度有關(guān),，通過與已知的標(biāo)準(zhǔn)或參比物質(zhì)比較，實現(xiàn)未知樣品的痕量元素定量分析,。

 

2,、ICP-MS基本構(gòu)造：

一個標(biāo)準(zhǔn)的ICP-MS儀器分為三個基本部分：

（1）ICP（樣品引入系統(tǒng),，離子源）
ICP要求所有樣品以氣體、蒸汽和細(xì)霧滴的氣溶膠或固體小顆粒的形式進(jìn)入中心通道氣流中,。ICP-MS 是以電感耦合等離子體作為離子源,。

（2）接口（采樣錐，截取錐）
接口是整個ICP-MS系統(tǒng)關(guān)鍵的部分,。其功能是將等離子體中的離子有效傳出到質(zhì)譜,。

（3）質(zhì)譜儀（離子聚焦系統(tǒng)，四級桿過濾器,，離子檢測器）

ICP-MS的離子聚焦系統(tǒng)與原子發(fā)射或吸收光譜中的光學(xué)透鏡一樣起聚焦作用,，但聚焦的是離子，而不是光子,。四極桿是一個順序質(zhì)量分析器,，必須依次對目標(biāo)質(zhì)量進(jìn)行掃描，并在一個測量周期內(nèi)采集離子,。其掃描速度很快,，大約每100毫秒可掃描整個元素覆蓋的質(zhì)量范圍。四極桿系統(tǒng)將離子按質(zhì)荷比分離后終引入檢測器,。檢測器將離子轉(zhuǎn)換成電子脈沖,，然后由積分線路計數(shù)。電子脈沖的大小與樣品中分析離子的濃度有關(guān),。通過與己知濃度的標(biāo)準(zhǔn)比較,實現(xiàn)未知樣品的痕量元素的定量分析,。