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超精密清洗包括精密工業(yè)生產(chǎn)過程中對機械零件,、電子元件,，光學(xué)部件等的超精密清洗,，以去除極微小污垢顆粒為目的,。
超聲波清洗機根據(jù)清洗方法的不同,，也可以分為物理清洗和化學(xué)清洗：利用力學(xué)、聲學(xué),、光學(xué),，電學(xué)、熱學(xué)的原理,，依靠外來能量的作用,，如機械摩擦、超聲波,、負(fù)壓,、高壓.)中擊。紫外線,、蒸汽等去除物體表面污垢的方法叫物理清洗,；依靠化學(xué)反應(yīng)的作用，利用化學(xué)藥品或其它溶劑去除物體表面污垢的方法叫化學(xué)清洗.如用各種無機或有機酸去除物體表面的銹跡,、水垢,，用氧化劑去除物體表面的色斑。消毒劑殺滅微生物并去除霉斑等.物理清洗和化學(xué)清洗都存在著各自的優(yōu)缺點,，又具有很好的互補性,。在實際應(yīng)用過程中，通常都是把兩者結(jié)合起來使用,，以獲得較好的清洗效果,。
根據(jù)清洗媒介的不同,，又可以分為濕式清洗和干式清洗：一般將在液體介質(zhì)中進行的清洗稱為濕式清洗，在氣體介質(zhì)中進行的清洗稱為干式清洗.傳統(tǒng)的清洗方式大多為濕式清洗,，而人們比較容易理解的干式清洗也就是吸塵器.但近年來,，干式清洗發(fā)展迅速.如激光清洗.紫外線清洗，等離子清洗,、干冰清洗等,。
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