1. 自我診斷技術(shù)

　　自我診斷技術(shù)是在不停機(jī)或基本不拆機(jī)的情況下，通過各種檢測(cè)分析來判斷設(shè)備狀態(tài)是否正常,，異常或故障的原因、部位,、程度以及壽命的預(yù)測(cè)。

　　自我診斷技術(shù)的主要作用是獲得設(shè)備的結(jié)果狀態(tài)信息,，即根據(jù)設(shè)備在各種工況下,，表現(xiàn)出來的精度超差，零點(diǎn)漂移,，內(nèi)漏等所有狀態(tài)信息的綜合分析來識(shí)別產(chǎn)品的狀態(tài),、異常類型和異常的嚴(yán)重程度，其本質(zhì)是一個(gè)包含信號(hào)采集,、信息提取,、信息綜合、故障識(shí)別和信息利用的過程,。自我診斷的目標(biāo)是確保產(chǎn)品在功能,、精度、效率和可靠性方面均能穩(wěn)定運(yùn)行

2. 自我診斷技術(shù)在氣體質(zhì)量流量控制器中的應(yīng)用

　　半導(dǎo)體設(shè)備對(duì)氣體質(zhì)量流量控制器的要求重要的一點(diǎn)就是高精度,，傳統(tǒng)的氣體質(zhì)量流量控制器在使用一段時(shí)間后,，由于環(huán)境溫度、氣體污染等原因,，有可能出現(xiàn)精度超差的現(xiàn)象,，但由于檢測(cè)條件的限制，用戶無法對(duì)氣體質(zhì)量流量控制器的精度進(jìn)行檢驗(yàn),。因此需要研究一種自我診斷技術(shù),，通過該技術(shù),，用戶可以隨時(shí)對(duì)氣體質(zhì)量流量控制器的精度進(jìn)行檢驗(yàn)。

　　增加氣體質(zhì)量流量控制器的自我診斷功能,，需要通過初級(jí)流量測(cè)量原理獲得流量,。若Qm為氣體的質(zhì)量流量，可以根據(jù)壓力,、溫度與氣體流量變化方程建立壓力隨時(shí)間的變化曲線,如圖2所示：

　通過該圖可以建立氣體質(zhì)量流量控制器的精度對(duì)應(yīng)表,，進(jìn)行自我診斷過程中，與該表格信息進(jìn)行對(duì)比,，可通過兩條曲線的相似度判定,，系統(tǒng)的精度是否在要求范圍內(nèi)。自我診斷技術(shù)大大提高了氣體質(zhì)量流量控制系統(tǒng)的可靠性,，完善了系統(tǒng)功能,。

3 自我診斷技術(shù)優(yōu)勢(shì)

　　采用自我診斷技術(shù)的智能分析，質(zhì)量流量控制器能夠做出智能化的檢測(cè),，對(duì)該設(shè)備可能出現(xiàn)的故障進(jìn)行預(yù)測(cè),，在預(yù)測(cè)的基礎(chǔ)之上，自動(dòng)予以消除或者做出報(bào)警反映,，這一過程對(duì)于產(chǎn)品本身使用中的維護(hù)而言,，能夠取得更好的經(jīng)濟(jì)效益，不但工作人員的工作量可以得到有效的降低,，自診結(jié)果也能夠得到很全面地提供,，維護(hù)人員還可以對(duì)應(yīng)的進(jìn)行更加完善、有效的維護(hù)方案制定,，維修保養(yǎng)地開展和實(shí)施就會(huì)更加的理