1. 自我診斷技術(shù)

　　自我診斷技術(shù)是在不停機或基本不拆機的情況下,，通過各種檢測分析來判斷設(shè)備狀態(tài)是否正常，異常或故障的原因,、部位、程度以及壽命的預(yù)測,。

　　自我診斷技術(shù)的主要作用是獲得設(shè)備的結(jié)果狀態(tài)信息,，即根據(jù)設(shè)備在各種工況下，表現(xiàn)出來的精度超差,，零點漂移,，內(nèi)漏等所有狀態(tài)信息的綜合分析來識別產(chǎn)品的狀態(tài)、異常類型和異常的嚴(yán)重程度,，其本質(zhì)是一個包含信號采集,、信息提取、信息綜合,、故障識別和信息利用的過程,。自我診斷的目標(biāo)是確保產(chǎn)品在功能、精度,、效率和可靠性方面均能穩(wěn)定運行

2. 自我診斷技術(shù)在氣體質(zhì)量流量控制器中的應(yīng)用

　　半導(dǎo)體設(shè)備對氣體質(zhì)量流量控制器的要求重要的一點就是高精度,，傳統(tǒng)的氣體質(zhì)量流量控制器在使用一段時間后，由于環(huán)境溫度,、氣體污染等原因,，有可能出現(xiàn)精度超差的現(xiàn)象，但由于檢測條件的限制,，用戶無法對氣體質(zhì)量流量控制器的精度進(jìn)行檢驗,。因此需要研究一種自我診斷技術(shù)，通過該技術(shù),，用戶可以隨時對氣體質(zhì)量流量控制器的精度進(jìn)行檢驗,。

　　增加氣體質(zhì)量流量控制器的自我診斷功能，需要通過初級流量測量原理獲得流量,。若Qm為氣體的質(zhì)量流量,，可以根據(jù)壓力,、溫度與氣體流量變化方程建立壓力隨時間的變化曲線,如圖2所示：

　通過該圖可以建立氣體質(zhì)量流量控制器的精度對應(yīng)表，進(jìn)行自我診斷過程中,，與該表格信息進(jìn)行對比,，可通過兩條曲線的相似度判定，系統(tǒng)的精度是否在要求范圍內(nèi),。自我診斷技術(shù)大大提高了氣體質(zhì)量流量控制系統(tǒng)的可靠性,，完善了系統(tǒng)功能。

3 自我診斷技術(shù)優(yōu)勢

　　采用自我診斷技術(shù)的智能分析,，質(zhì)量流量控制器能夠做出智能化的檢測,，對該設(shè)備可能出現(xiàn)的故障進(jìn)行預(yù)測，在預(yù)測的基礎(chǔ)之上,，自動予以消除或者做出報警反映,，這一過程對于產(chǎn)品本身使用中的維護(hù)而言，能夠取得更好的經(jīng)濟(jì)效益,，不但工作人員的工作量可以得到有效的降低,，自診結(jié)果也能夠得到很全面地提供，維護(hù)人員還可以對應(yīng)的進(jìn)行更加完善,、有效的維護(hù)方案制定,，維修保養(yǎng)地開展和實施就會更加的理