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三維表面形貌測量儀可用于物體表面三維形貌和變形測量,。由于該系統(tǒng)既可配備10倍變焦遠(yuǎn)距離顯微成像鏡頭，也可配備普通變焦鏡頭,，使得該系統(tǒng)能同時(shí)滿足細(xì)觀及宏觀的測量要求,。不僅可用于微電子、生物,、微機(jī)械等微細(xì)結(jié)構(gòu)的形貌及變形測量,，也可用于混凝土結(jié)構(gòu)、巖土試樣等大型構(gòu)件表面形貌和變形測量,。系統(tǒng)配有的相移條紋圖像處理軟件,，使得系統(tǒng)測量精度明顯提高，并且使用方便,、操作簡單,。
工作原理是光學(xué)小景深測量與精密垂直掃描相結(jié)合,。光源所發(fā)出的光線經(jīng)過共軸的分光棱鏡和物鏡，聚焦照射到樣品表面上并發(fā)生反射,，所反射光學(xué)信號(hào)經(jīng)由分光棱鏡被信號(hào)傳感器接收,。通過連續(xù)的自動(dòng)的垂直掃描技術(shù)以及先進(jìn)的圖像運(yùn)算處理技術(shù)，獲得樣品完整的表面三維形貌,。
三維表面形貌測量儀的應(yīng)用：
1、精密部件3D尺寸及段差測試,；
2,、精密點(diǎn)膠膠線截面、膠線寬度,、膠線高度測試,；
3、3D玻璃缺陷檢測,；
4,、半導(dǎo)體表面缺陷測試；
5,、多層薄膜厚度測試,。
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