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能量色散X射線熒光光譜儀綜合了常規(guī)測(cè)試(普通模式)和*的光路系統(tǒng)測(cè)試(超銳模式),，普通模式能完成全元素，貴金屬，RoHS,，鍍層等常規(guī)測(cè)試,，超銳模式能對(duì)客戶比較關(guān)心的低含量元素進(jìn)行測(cè)試。主要是使用儀器*超銳光路系統(tǒng),，降低儀器的背景噪音,，提高儀器的檢出能力，從而提高儀器的整體檢測(cè)性能,。
功能：
能量色散X射線熒光光譜儀是基于X射線的一種分析手段,，當(dāng)一束高能粒子與原子相互作用時(shí)，如果其能量大于或等于原子某一軌道電子的結(jié)合能,，將該軌道電子逐出,，形成一個(gè)空穴使原子處于激發(fā)態(tài)，由于激發(fā)態(tài)不穩(wěn)定,，外層電子向空穴躍遷使原子恢復(fù)到平衡態(tài),，躍遷時(shí)釋放出的能量以輻射的形式放出便產(chǎn)生X熒光。X熒光具有特征的波長,，對(duì)應(yīng)的即是特征的能量,，通過對(duì)光子的特征波長進(jìn)行辨識(shí)，能實(shí)現(xiàn)對(duì)元素的定性分析,，通過探測(cè)特征波長的X射線光子的強(qiáng)度,，實(shí)現(xiàn)元素的定量和半定量分析。
基本原理
當(dāng)能量高于原子內(nèi)層電子結(jié)合能的高能X射線與原子發(fā)射碰撞時(shí),，驅(qū)逐出一個(gè)內(nèi)層電子而出現(xiàn)一個(gè)空穴,，使整個(gè)原子體系處于不穩(wěn)定的激發(fā)態(tài)，然后原子體系會(huì)由激發(fā)態(tài)自發(fā)的躍遷到能量低的狀態(tài),，這個(gè)過程稱為弛豫過程,。弛豫過程既可以是非輻射躍遷，也可以是輻射躍遷,。當(dāng)較外層的電子躍遷到空穴時(shí),，所釋放的能量隨即在原子內(nèi)部被吸收而逐出較外層的另一個(gè)次級(jí)光電子,，此稱為俄歇效應(yīng),，亦稱次級(jí)光電效應(yīng)或無輻射效應(yīng)，所逐出的次級(jí)光電子稱為俄歇電子,。它的能量是特征的,，與入射輻射的能量無關(guān)。當(dāng)較外層的電子躍入內(nèi)層空穴所釋放的能量不在原子內(nèi)被吸收,，而是以輻射形式放出,，便產(chǎn)生X射線熒光。X射線熒光的能量或波長是特征性的,，與元素有一一對(duì)應(yīng)的關(guān)系,。
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