德國Lamtech平面度測量儀

來源：德瑞華測量技術(shù)（蘇州）有限公司 2020年03月23日 09:56

德國LAMTECH平面度測量儀

LAMTECH平面度快速測量機,，采用掠入射光干涉原理,，專注于高精密加工表面平面度快速測量評估, 廣泛應(yīng)用于航空航天,，汽車工業(yè)噴油嘴行業(yè),，泵,、閥門密封件表面,，以及光學(xué)工程，激光工程等領(lǐng)域,。

LAMTECH平面度快速測量機 | 平坦度儀|平整度儀高精密非接觸測量半導(dǎo)體晶圓(wafers),、玻璃(glass)、密封件表面,、陶瓷表面,、高精密機械表面等行業(yè)的平面度測量。

德國LAMTECH平面度測量儀,，快速檢測平面度,，是由德國LAMTECH公司研發(fā)生產(chǎn)，德國品質(zhì),，值得信賴,。

德國LAMTECH平面度測量儀特點：
◆ 非接觸式平面度測量接觸
◆ 高精密評估: ＜0.4μm
◆ 測量速度快: ＜3秒
◆ 可用于車間現(xiàn)場, 100%全檢
◆ 平面度評估符合ISO/TS12781-1(FLTt)
◆ 三維形貌評估軟件, 可支持CNC編程批量檢測
◆ 表面自動識別系統(tǒng), 或手動區(qū)域(圓, 圓環(huán), 矩形區(qū)域)評估
◆ 數(shù)據(jù)采集量大, 一次完成對300,000點的評估
◆ 快速生成報告并保存為.csv數(shù)據(jù)格式, 支持Q-das等統(tǒng)計分析軟件
◆ 廣泛應(yīng)用于拋光, 研磨或細磨精密表面, 像閥門盤, 密封環(huán)等

平面度檢測儀技術(shù)參數(shù)：

型號	TOPOS 50	TOPOS 100
測量范圍(直徑)	50mm	100mm
參考平面平面度	優(yōu)于0.06μm
參考面材料	石英玻璃
靈敏度	0.5,1,2或4μm每紋
精度	(0.1??0.4)um + 2%x測量值, 基于靈敏度
Z軸波動范圍	低于100um, 表面斜度所限制
FLTt重復(fù)性	優(yōu)于0.01μm1)
分辨率	優(yōu)于0.01μm
數(shù)據(jù)采集量	300,000點
測量時間	小于2s
整體尺寸	560mm X 300mm X 400mm		680mm X 440mm X 880mm
重量	34kg		80kg

應(yīng)用示例：

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