3D光學(xué)表面輪廓粗糙度儀非接觸表面微觀形貌(粗糙度)測量儀,，系統(tǒng)采用TRIMOS技術(shù)數(shù)字全息三維顯微測量技術(shù)(DHM),，廣泛應(yīng)用于高精密微觀表面檢查,。與傳統(tǒng)非接觸測量技術(shù)相比,，測量速度快,，對震動不敏感，真正的實(shí)現(xiàn)三維形貌納米級測量,。3D光學(xué)表面輪廓粗糙度儀是模塊化的設(shè)計(jì)理念,，可配置共焦顯微系統(tǒng), 探針測量系統(tǒng)，傳感器直接更換,，方便快捷,，極大的滿足了不同的應(yīng)用范圍。即可用于計(jì)量單位和材料科學(xué)研發(fā)實(shí)驗(yàn)室,，也廣泛應(yīng)用在工業(yè)制造領(lǐng)域：汽車,、航天、航空,、表面涂層,、醫(yī)療產(chǎn)品、微型電機(jī)系統(tǒng),、半導(dǎo)體等行業(yè),。
　　3D光學(xué)表面輪廓粗糙度儀對各種產(chǎn)品和材料的表面平面度、粗糙度,、波面性,、面形輪廓、共面性,、表面缺陷,、研磨情況、磨損情況,、腐蝕情況,、孔隙間隙、臺階高度,、蝕刻情況,、彎曲變形情況等貌特征等進(jìn)行測量和分析。標(biāo)準(zhǔn)型號的系統(tǒng)要求被測物體尺寸通常不大于150*100mm,，更大的尺寸根據(jù)要求也可供貨,。工作臺至大承載重量10Kg,。
　　3D光學(xué)表面輪廓粗糙度儀可直接測量表面的峰頂-谷底的高度，適用于噴丸噴砂行業(yè),、印刷行業(yè),、噴涂防腐行業(yè)等表面粗糙度需求的行業(yè)使用，可測量表面輪廓和凹坑,，只需要很小的測量面積,。光學(xué)式表面粗糙度輪廓形貌儀大掃描速度可達(dá)到80mm/秒，每秒2000個(gè)數(shù)據(jù)點(diǎn),，每行可掃描20000個(gè)獨(dú)立的數(shù)據(jù)點(diǎn),，垂直測量分辨率高可達(dá)到5nm，小測量范圍0-110μm,，大測量范圍0-50mm,。
　　3D光學(xué)表面輪廓粗糙度儀的操作較為簡便，操作人員將工件放置在載物臺上,，調(diào)整載物臺使被檢測區(qū)域移動到物鏡下方,，調(diào)整Z軸高度，直至軟件測量窗口出現(xiàn)干涉條紋,，調(diào)節(jié)載物臺上水平傾斜旋鈕使視場內(nèi)出現(xiàn)1~2個(gè)干涉條紋,，點(diǎn)擊按鈕進(jìn)行測量，光學(xué)物鏡開始對器件表面進(jìn)行掃描,，軟件實(shí)時(shí)獲取圖像并在掃描結(jié)束后重建出3D圖像,，操作者可在軟件的分析界面中對圖像進(jìn)行處理，獲取器件表面的線,、面粗糙度,、輪廓等2D、3D數(shù)據(jù),。