德國易福門IFM電容式傳感器其在結(jié)構(gòu)上有如下特點,這無論對使用和設(shè)汁制造上都必須充分注意才能保證發(fā)揮IFM電容傳感器的長處,。
①對絕緣要求高,,因此極板支持構(gòu)件或極板間絕緣材料均要求用有良好絕緣性能的如石英、陶瓷,、聚四氟乙烯,、云母等。這是因為傳感器電容一般不大(pf級),,因此是高阻抗,,絕緣電阻作為其旁路,必需比一般電器的絕緣電阻(幾兆歐)高出許多,,才不致于影響電容的性能,。
②要能經(jīng)受外界環(huán)境(如溫度、濕度,、壓力等)的變化,,溫度會影響極板尺寸,間隙大小以及介質(zhì)介電常數(shù);濕度對介電常數(shù)和絕緣電阻影響更大,,嚴(yán)重時在極板上結(jié)露會危及正常工作;空氣壓力不僅會影響電容值,,甚至?xí)绊憳O板間耐壓強度;塵埃及腐蝕氣體亦都會影響正常工作。因此材料上選用膨脹小,,耐溫,、防腐的:結(jié)構(gòu)取形狀穩(wěn)定性好、能防塵,、隔溫,、防凝露的。
③要盡量減小極板間的邊緣場電容Ca,。引線電纜的分布電容Cd,,極板與周圍導(dǎo)體等構(gòu)件構(gòu)成的寄生電容Cp,。因為它們使傳感器實際電容增加,使隨被測量變化的相對值下降,,造成靈敏度降低,,此外它們隨外界條件隨機變化,會嚴(yán)重干擾傳感器隨被測量而變化的部分,。因此在結(jié)構(gòu)等方面的采取有相應(yīng)措施,,若是非接觸測量,被測件作為一個極板時,,則希望它光潔,、平整、面積不小于另一極板,。
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