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物理氣相沉積如何使用質(zhì)量流量控制器

來源:美國艾里卡特科技有限公司   2019年11月19日 11:11  

您知道陽極氧化與發(fā)藍(lán)處理的弊端嗎,?

盡管表面是耐腐蝕的,,但容易被刮擦。陽極氧化過程大多不會增強(qiáng)表面硬度,,鍍鉻倒是有此功效,但鉻有毒性,且易磨損,、易變形、易碎裂,。

 

1,、物理氣相沉積的常見問題

Duralar科技有限公司——真空沉積系統(tǒng)的制造商,希望利用物理氣相沉積開發(fā)一套類金剛石材料的快速鍍膜系統(tǒng),。

其堅固性與持久性都強(qiáng)于陽極氧化與鍍鉻,,并將應(yīng)用于金屬部件表面的防腐蝕、防侵蝕,、防磨損等處理過程,。

類似于Duralar公司的物理氣相沉積技術(shù),在研發(fā)過程中需要不斷地測試,,考慮新方案的可行性,,并且時時切換氣體種類,調(diào)節(jié)流量大小,,從而確保的鍍膜量,。

如果您是同行,您一定不希望為每一次測試,,都采購一臺全新的真空型質(zhì)量流量控制器,,也一定不能忍受每切換一次氣體,都不得不重新標(biāo)定質(zhì)量流量控制器,。

Duralar公司初的氣相沉積系統(tǒng)中集成了6臺熱式質(zhì)量流量控制器,,但這6臺設(shè)備無一采用特殊氣體——四甲基硅烷(簡稱TMS)

事實上,,除非將系統(tǒng)停機(jī)后重新標(biāo)定質(zhì)量流量控制器,,否則無法實現(xiàn)氣體切換。

2,、Alicat解決方案

Duralar公司聯(lián)系了Alicat,。雖然四甲基硅烷不在Alicat的標(biāo)準(zhǔn)兼容氣體列表中,但經(jīng)過一番定制化設(shè)計后,,我們交付了一臺耐腐蝕,、四甲基硅烷特殊標(biāo)定的質(zhì)量流量控制器。

碳素鋼通過硬如金剛石的物理氣相沉積真空鍍膜后呈黑色

Duralar公司實現(xiàn)了始終維持精密四甲基硅烷流量,,無論流量滿量程還是僅為滿量程的0.5%,。

因為Alicat質(zhì)量流量控制器內(nèi)置的氣體切換功能采用的算法,,不僅是乘以系數(shù)K對某一點流量進(jìn)行補(bǔ)償,而是基于一套完整的,、附有NIST粘度值的性能曲線,。

Duralar公司也無需擔(dān)心工廠內(nèi)溫度或壓力的變化對精度產(chǎn)生干擾。

因為不同于傳統(tǒng)的熱式質(zhì)量流量控制器,,Alicat質(zhì)量流量控制器內(nèi)的閉合回路傳感器將自動對體積的變化進(jìn)行補(bǔ)償,。

Duralar公司通過將腔體抽真空來生產(chǎn)鍍膜材料,腔體內(nèi)充入適宜流量的氣體,,加入蒸汽鍍料,,并將其轉(zhuǎn)化成具有附著性的漿體。

物理氣相沉積必須在真空環(huán)境下進(jìn)行,,從而鍍料到達(dá)被鍍物體表面時不會被氧化。

由一臺真空泵與三臺質(zhì)量流量控制器組成的原型系統(tǒng)

 

之后,,Duralar公司又打算開發(fā)一項管道內(nèi)壁鍍層的系統(tǒng),。

管道內(nèi)壁鍍層可以減少腐蝕性液體或氣體造成的腐蝕。

Alicat解決方案將管道尾部密封以形成一真空腔體,,在一狹窄的管道空間內(nèi)改變鍍料位置,,完成管道內(nèi)壁鍍層。

利用一臺用于四甲基硅烷的MCS系列耐腐蝕型質(zhì)量流量控制器,,及兩臺MC系列標(biāo)準(zhǔn)型質(zhì)量流量控制器,,Duralar公司輕而易舉地實現(xiàn)了預(yù)置的98種常用氣體,還可以外加至多20種自定義氣體來任意切換,。

MCS系列耐腐蝕型質(zhì)量流量控制器中標(biāo)準(zhǔn)預(yù)置氣體更是達(dá)到128種,。

3

3、Alicat遠(yuǎn)程控制

Duralar公司下載Alicat LabVIEW驅(qū)動程序來構(gòu)建上述真空系統(tǒng),,通過遠(yuǎn)程電腦來控制質(zhì)量流量控制器及自己的節(jié)流閥,。

終,在規(guī)定期限內(nèi)完成了此真空系統(tǒng)的設(shè)計,,并已將其投產(chǎn),。

Alicat質(zhì)量流量控制器應(yīng)用于原型系統(tǒng)的LabVIEW界面

如今,您可以為您的金屬部件鍍上類金剛石的材料,,也可以訂購一臺鍍膜系統(tǒng)開展相關(guān)的鍍膜服務(wù),。

相比于陽極氧化,真空鍍膜要持久耐用得多,;與鍍鉻相比,,則更為簡易與堅硬。

Alicat質(zhì)量流量控制器的可變與適應(yīng)性使得物理氣相沉積技術(shù)又有了新的突破,。

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