電感耦合等離子體質(zhì)譜（Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometry）簡(jiǎn)稱ICP-MS,，是以等離子體為離子源的一種質(zhì)譜型元素分析方法,。ICP-MS作為痕量元素分析的有效手段,，主要用于多種金屬元素的同時(shí)測(cè)定,，并可與其他技術(shù)聯(lián)用,，進(jìn)行樣品中元素的微區(qū)分布和元素形態(tài)分析,。

    激光燒蝕(LA,LaserAblation)技術(shù)和ICP-MS的聯(lián)用(LA-ICP-MS)目前成為一種對(duì)不同樣品基體進(jìn)行快速多元素測(cè)定的有前途的分析方法,。

    激光燒蝕(LA)是激光的一種應(yīng)用。當(dāng)一束高輻照度短脈沖寬度的激光聚焦于物質(zhì)表面時(shí)產(chǎn)生激光燒蝕,。早期研究中LA-ICP-MS多用于紅外激光源,近年來研究者們認(rèn)同了使用短脈沖寬度的紫外激光源的優(yōu)點(diǎn),。雖然LA-ICP-MS有許多優(yōu)點(diǎn),但并不意味著它適合成為固體樣中元素測(cè)定的一般方法。主要的問題是:分析結(jié)果的偏差較大,依賴于固體樣的均勻性,、性質(zhì)和表面狀態(tài),以及基體匹配的標(biāo)準(zhǔn)難以獲得,。此外,在固樣的燒蝕過程中存在元素的選擇性蒸發(fā)(即分餾)。LA-ICP-MS已應(yīng)用于分析大氣中微粒物質(zhì),陶瓷層,、礦物中的液體包容物,。長(zhǎng)石中的Sr和鋯石中Hf的同位素比。(其測(cè)定精度接近于TIMS),。測(cè)定礦石包容物,迄今為止主要是人工合成物,其中加入已知濃度的痕量重元素(例如:Sr,U)作為內(nèi)標(biāo)可獲得好的定量結(jié)果,。