伺服閥結構類型如圖3-121與圖3-122所示,。

1-力矩馬達,；2-噴嘴；3-滑閥,；4-線圈,；5-銜鐵；6-扭矩管,；7-擋板,；8-可變節(jié)流孔；9-反饋彈簧

圖3-121  力反饋噴嘴擋板式電液伺服閥

圖3-122  帶電反饋的電液伺服閥

1-一級閥,；2-力矩馬達,；3-液壓放大器；4-閥體,；5-扭矩管,；6-擋板；7-銜鐵,；8-線圈,；9-節(jié)流口；10-主閥心,；11-反饋件,；12-電子元件；13-位移傳感器

電液伺服閥由電氣—機械轉換器和液壓放大器構成,，如圖3-123所示,。電氣—機械轉換器是將電信號轉換成機械位移；液壓放大器是將電氣．機械轉換器輸出的機械位移放大后推動閥芯運動,，液壓放大器由前置放大級和功率放大級組成,，前置放大級采用滑閥、噴嘴擋板閥或射流管閥,，功率級采用滑閥形式,。

電液伺服閥分為單級,、二級和三級。單級電液伺服閥直接由力馬達或力矩馬達驅動滑閥閥芯,，用于壓力低于6.3MPa,、流量小于4 L／min和負載變化小的系統(tǒng)；二級電液伺服閥有兩級液壓放大器,，用于流量小于200L／min 的系統(tǒng)：三級電液伺服閥可輸出更大的流量和功率,。

選用伺服閥要依據(jù)伺服閥的特點和系統(tǒng)性能要求。伺服閥大的弱點是抗污染能力差,，過濾器的顆粒粒度必須小于3μm,。伺服閥側重應用在動態(tài)精度和控制精度高、抗干擾能力強的閉環(huán)系統(tǒng)中,，對動態(tài)精度要求一般的系統(tǒng)可用比例閥,。

從響應速度優(yōu)先的原則考慮，伺服閥的前置級優(yōu)先選擇噴嘴擋板閥,，其次是射流管閥,，后是滑閥；從功率考慮,，射流管閥壓力效率和容積效率在70％以上,，應首先選擇，然后是選擇滑閥和噴嘴擋板閥,；從抗污染和可靠性方面考慮,，射流管閥的通徑大，抗污染能力強,，可延長系統(tǒng)*工作時間,；從性能穩(wěn)定方面考慮，射流管閥的磨蝕是對稱的,，不會引起零漂,，性能穩(wěn)定，壽命長,；滑閥的開口形式一般選擇零開口結構,；伺服閥規(guī)格由系統(tǒng)的功率和流量決定，并留有15％～30％的流量裕度,；伺服閥的頻寬按照伺服系統(tǒng)頻寬的5倍選擇,，以減少對系統(tǒng)響應特性的影響，但不要過寬,，否則系統(tǒng)抗干擾能力減?。凰欧y在安裝時，閥芯應處于水平位置,，管路采用鋼管連接,，安裝位置盡可能靠近執(zhí)行器；伺服閥有2個線圈,，接法有單線圈,、雙線圈，串聯(lián),、并聯(lián)和差動等方式,，使用時要注意；伺服閥正式安裝前,，管路要接入精密過濾器,，用60℃的工作油運行清洗1h；伺服閥若在使用中出現(xiàn)振蕩現(xiàn)象,，可通過改變管路的長度,、連接板或液壓執(zhí)行器的安裝形式消除；為了減小和消除伺服閥閥芯與閥套的間隙,，防止滑閥卡死或堵塞，在伺服閥輸入信號上疊加一個高頻低幅值的顫振信號,。