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全反射X熒光光譜技術(shù)（TXRF）基于X熒光能譜法（EDXRF）,，但與能譜分析有著明顯的區(qū)別：傳統(tǒng)EDXRF采用原級(jí)X光束以45°角轟擊樣品,，而TXRF采用毫弧度的臨界角（接近于零度角）入射。由于采用此種近于切線方向的入射角,，原級(jí)X光束幾乎可以全部被反射,，照射在樣品表面后，盡可能上避免樣品載體吸收光束和減小散射的發(fā)生,，同時(shí)減小了載體的背景和噪聲,，亦可減少樣品使用量。
與原子吸收及發(fā)射光譜方法相比,，TXRF具有如下優(yōu)勢(shì)：
1,、無(wú)需復(fù)雜的樣品前處理過(guò)程，原子吸收或ICP的樣品前處理占據(jù)了整個(gè)分析過(guò)程的絕大部分時(shí)間,，通常耗時(shí)幾個(gè)小時(shí)甚至幾天,，同時(shí)TXRF能有效避免前處理引入的誤差；
2,、對(duì)于易揮發(fā)元素有良好檢測(cè)效果,，如Hg/As/Se在消解過(guò)程中會(huì)損失，Cl/Br/I等ICP檢測(cè)效果較差,；
3,、檢測(cè)元素種類更多，可達(dá)80余種, 元素分析范圍從Na覆蓋到U,；
4,、檢出限更低,，多數(shù)元素在ppt級(jí)，尤其Pb/Rh等元素,，而原子吸收或ICP為ppb級(jí),。
與ICP-MS方法相比，兩者檢出限基本持平,，但TXRF可以無(wú)視ICP-MS如下痛點(diǎn)：
1,、ICP-MS的耐鹽度較差，分析高鹽分樣品時(shí)檢出限差（S/Ca/Fe/K/Se等）,，同時(shí)酸基體對(duì)于測(cè)量影響顯著,，如鹽酸、高氯酸,、磷酸,、硫酸會(huì)引起質(zhì)譜干擾；
2,、ICP-MS根據(jù)質(zhì)核比檢測(cè)元素,，當(dāng)存在同質(zhì)異位素時(shí)，很難的完成檢測(cè),；
3,、ICP-MS需要超凈實(shí)驗(yàn)室，造價(jià)昂貴,；
4,、ICP-MS運(yùn)行成本高，取樣錐,、渦輪泵,、檢測(cè)器為易損件。
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