巴魯夫位移傳感器選擇參數(shù)使用

來源：武漢聚力信自動化科技有限公司 2019年08月07日 15:28

真空等級

在密閉的空間中,，空氣被抽出成為無空氣

的空間,。氣室內(nèi)的空氣減少，氣壓下降,，

產(chǎn)生真空,。封閉空間中的空氣量越少，氣

壓越低,，真空度越高,。真空度分為四級。

高于1 mbar的氣壓為低真空度,。低于該氣

壓時,，為中等真空度。低于0.001 mbar為

高真空度,，達(dá)到或低于0.000 000•1•mbar

為超高真空度,。

真空應(yīng)用

真空需要一個密閉的空間不存在任何空氣，

因此也不存在任何懸浮顆粒,，不允許任

何“異物”存在,。有時需要在真空中測量

尺寸，例如需要檢查亞微米級的超精細(xì)結(jié)

構(gòu)或需要切分和檢查顆粒。直線光柵尺和

角度編碼器在真空中的常見應(yīng)用包括電子

顯微鏡,、機械手,、多路執(zhí)行器、XY工作

臺,、電子束顯微鏡,，半導(dǎo)體工業(yè)的圓晶檢

查或測量同步加速器輻射的光譜儀軸。

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