軟鍍膜
軟鍍膜是多層薄膜,由硫化鋅、冷凍劑,、有時甚至是銀組成。對于傳統(tǒng)的干涉濾光片,,鍍膜組件被層壓在一個垂直的堆棧中,,以提供抵御周圍環(huán)境的保護(hù),通常是從較大的晶圓上取下,??紤]到所使用的材料和制造工藝,軟鍍膜易碎,。鍍膜材料經(jīng)常被從濾光片的邊緣移除,,以避免鍍膜因潮濕而退化,,并增加鍍膜的使用期限。
軟鍍膜的成本是由低成本的沉積設(shè)備,、快速循環(huán)時間和廉價的基片來保持,,但是由于密封和環(huán)形組件,操作成本很高,。
軟鍍膜如果小批量生產(chǎn),,成本較高,如果產(chǎn)生一定批量的生產(chǎn),,會大大降低成本,。
硬鍍膜
硬鍍膜薄膜是利用等離子沉積過程制作而成的,與軟鍍膜相比,,它具有多個優(yōu)勢,。等離子沉積過程是用計算機嚴(yán)格控制的,它甚至可以實現(xiàn)分層,,擁有良好的環(huán)境適應(yīng)性和更好的性能,。例如,作為波長的一個函數(shù),,硬鍍膜的透光率不僅更加一致,,而且通常高于軟鍍膜的透光率
硬鍍膜在可見光譜和紫外線中具有超過 90% 的透射率。另一方面,,軟鍍膜無法達(dá)到 90% 的透射率,,并且性能在紫外線附近顯著下降。此外,,起始和截止轉(zhuǎn)換還有一些改進(jìn),。軟鍍膜有個漸進(jìn)的過渡,從沒有透射率過渡到*透射率,,而硬鍍膜的過渡更陡.
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