華宇凈化凈化工程要控制溫濕度具體措施有哪些,？

                    凈化工程潔凈室的溫濕度主要是根據(jù)您的加工工藝要求來(lái)確定,，在滿(mǎn)足加工工藝的條件下，應(yīng)該考慮人的舒適感,。隨著空氣潔凈度要求的提高,，工藝對(duì)溫濕度的要求也越來(lái)越高，必須達(dá)到一定的溫濕度等級(jí),。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中,，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來(lái)越小。直徑100um的硅片,，溫度上升1度,，就引起了0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫,，同時(shí)要求濕度值一般較低,，因?yàn)槿顺龊挂院螅瑢?duì)產(chǎn)品將有污染,，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車(chē)間,，這種車(chē)間不宜超過(guò)25度。

    濕度過(guò)高產(chǎn)生的問(wèn)題更多,。相對(duì)濕度超過(guò)55%時(shí),，冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露，如果發(fā)生在精密裝置或電路中,，就會(huì)引起各種事故,。相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹。凈化工程要控制溫濕度具體有什么措施,？

    然而對(duì)于大部分潔凈空間,，為了防止外界污染侵入，需要保持內(nèi)部的壓力（靜壓）高于外部的壓力（靜壓）,。壓力差的維持一般應(yīng)符合以下原則：

    1.潔凈度級(jí)別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級(jí)別低的空間的壓力,。

    2.相通潔凈室之間的門(mén)要開(kāi)向潔凈度級(jí)別高的房間。

    3.潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力,。

    壓力差的維持依靠新風(fēng)量,，這個(gè)新風(fēng)量要能補(bǔ)償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風(fēng)量。所以壓力差的物理意義就是漏泄（或滲透）風(fēng)量通過(guò)潔凈室的各種縫隙時(shí)的阻力,。

    對(duì)于亂流潔凈室由于主要靠空氣的稀釋作用來(lái)減輕室內(nèi)污染的程度,，所以主要用換氣次數(shù)這一概念，而不直接用速度的概念,，不過(guò)對(duì)室內(nèi)氣流速度也有如下要求,；

    1.送風(fēng)口出口氣流速度不宜太大，和單純空調(diào)房間相比,，要求速度衰減更快,，擴(kuò)散角度更大,。

    2.吹過(guò)水平面的氣流速度（例如側(cè)送時(shí)回流速度）不宜太大，以免吹起表面微粒重返氣流,，而造成再污染,，這一速度一般不宜大干0.2m/s。

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