潔凈室等級標準和標準ISO14644一樣,都是根據懸浮粒子濃度這個指標來劃分潔凈室(區(qū))及相關受控環(huán)境中空氣潔凈度的等級,,并且僅考慮粒徑限值(低限)在0.1um~5.0um范圍內呈累積分布的粒子群,。根據粒子徑,可以劃分為常規(guī)粒子(0.1um~5.0um),、超微粒子(<0.1um)和宏粒子(>5.0um)。
一,、潔凈室的空氣潔凈度,,應進行下列測試:
空態(tài)測試:潔凈室已竣工,,凈化空氣調節(jié)系統(tǒng)已處于正常運行狀態(tài),,室內沒有工藝設備和生產人員的情況下進行測試;靜態(tài)測試:潔凈室凈化空氣調節(jié)系統(tǒng)已處于正常運行狀態(tài),,工藝設備已安裝,室內沒有生產人員的情況下進行測試,;動態(tài)測試潔凈室已處于正常生產狀態(tài)下進行測試,潔凈室的風量,、風速、正壓,、溫度、濕度,、噪聲的檢測,,可按一般通用、空氣調節(jié)的有關規(guī)定執(zhí)行,。
二、空態(tài),、靜態(tài)測試
檢測前,應對潔凈室及其凈化空氣調節(jié)系統(tǒng)進行*清潔,。采用光散射粒子計數器對空氣過濾器進行檢漏測試。首先測定空氣過濾器的上風側靜壓箱內(或風管內)粒徑大于或等于0.5微米的塵粒數應為大于或等于30,,000粒/升。如若不夠,,可引入煙霧,然后開始檢漏,。將粒子計數器(或檢漏裝置)的采樣口距離空氣過濾器2--3厘米處,可以2~4厘米/秒的速度移動,,對空氣過濾器整個斷面封頭膠處和安裝框架處進行掃描,。當粒子計數器讀數為空氣口大于或等于0.5微米的塵粒超過3粒/分·升(或其穿透率大于0.01‰)即認為該處有明顯滲漏,,必須進行堵漏。
測試內容:總送風量,、總回風量、新鮮空氣量,、排風量等;潔凈室壓力值;層流潔凈室斷面風速和氣流流向;潔凈工作區(qū)的潔凈度;室內溫度,、濕度及其控制能力的調整測試;潔凈室內噪聲,。
潔凈工作區(qū)空氣潔凈度的測試方法對于粒徑大于或等于0.5微米的塵粒計數,宜采用光散射粒子計數法,。對于粒徑大于或等于5微米的塵粒計數。也可采用濾膜顯微鏡計數法,。
三,、動態(tài)測試。在潔凈工作區(qū)操作位置選擇有代表性測點的氣流上風向進行,,測試方法同空態(tài)、靜態(tài)測試,。
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