選用真空泵時,,需要注意下列事項:
1、真空泵的工作壓強應(yīng)該滿足真空設(shè)備的極限真空及工作壓強要求,。如:真空鍍膜要求110-5mmHg的真空度,,選用的真空泵的真空度至少要510-6mmHg。通常選擇泵的真空度要高于真空設(shè)備真空度半個到一個數(shù)量級,。
2,、正確地選擇真空泵的工作點。每種泵都有一定的工作壓強范圍,,如:擴散泵為10-3~10-7mmHg,,在這樣寬壓強范圍內(nèi),泵的抽速隨壓強而變化,,其穩(wěn)定的工作壓強范圍為510-4~510-6mmHg,。因而,泵的工作點應(yīng)該選在這個范圍之內(nèi),,而不能讓它在10-8mmHg下長期工作,。又如鈦升華泵可以在10-2mmHg下工作,但其工作壓強應(yīng)小于110-5mmHg為好,。
3,、真空泵在其工作壓強下,應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量,。
4,、正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣,,因而,,有時選用一種泵不能滿足抽氣要求,,需要幾種泵組合起來,互相補充才能滿足抽氣要求,。如鈦升華泵對氫有很高的抽速,,但不能抽氦,而三極型濺射離子泵,,(或二極型非對稱陰極濺射離子泵)對氬有一定的抽速,,兩者組合起來,便會使真空裝置得到較好的真空度,。另外,,有的真空泵不能在大氣壓下工作,需要預(yù)真空,;有的真空泵出口壓強低于大氣壓,,需要前級泵,故都需要把泵組合起來使用,。
5,、真空設(shè)備對油污染的要求。若設(shè)備嚴(yán)格要求無油時,,應(yīng)該選各種無油泵,,如:水環(huán)泵、分子篩吸附泵,、濺射離子泵,、低溫泵等。如果要求不嚴(yán)格,,可以選擇有油泵,,加上一些防油污染措施,如加冷阱,、障板,、擋油阱等,也能達到清潔真空要求,。
6,、了解被抽氣體成分,氣體中含不含可凝蒸氣,,有無顆?;覊m,有無腐蝕性等,。選擇真空泵時,,需要知道氣體成分,針對被抽氣體選擇相應(yīng)的泵。如果氣體中含有蒸氣,、顆粒,、及腐蝕性氣體,應(yīng)該考慮在泵的進氣口管路上安裝輔助設(shè)備,,如冷凝器,、除塵器等。
7,、真空泵排出來的油蒸氣對環(huán)境的影響如何,。如果環(huán)境不允許有污染,可以選無油真空泵,,或者把油蒸氣排到室外,。
8、真空泵工作時產(chǎn)生的振動對工藝過程及環(huán)境有無影響,。若工藝過程不允許,,應(yīng)選擇無振動的泵或者采取防振動措施。
9,、真空泵的價格、運轉(zhuǎn)及維修費用,。
水環(huán)式真空泵的選擇
一,、泵類型的確定
泵的類型主要由工作所需的氣量、真空度或排氣壓力而定,。
泵工作時,,需要注意以下兩個方面: 盡可能要求在區(qū)內(nèi),也就是在臨界真空度或臨界排氣壓力的區(qū)域內(nèi)運行,。應(yīng)避免在大真空度或大排氣壓力附近運行,。在此區(qū)域內(nèi)運行,不僅效率極低,,而且工作很不穩(wěn)定,,易產(chǎn)生振動和噪音。對于真空度較高的真空泵而言,,在此區(qū)域之內(nèi)運行,,往往還會發(fā)生汽蝕現(xiàn)象,產(chǎn)生這種現(xiàn)象的明顯標(biāo)志是泵內(nèi)有噪音和振動,。汽蝕會導(dǎo)致泵體,、葉輪等零件的損壞,以致泵無法工作,。
根據(jù)以上原則,,當(dāng)泵所需的真空度或氣體壓力不高時,可優(yōu)先在單級泵中選取。如果真空度或排氣壓力較高,,單級泵往往不能滿足,,或者,要求泵在較高真空度情況下仍有較大氣量,,即要求性能曲線在較高真空度時較平坦,,可選用兩級泵。如果真空度要求在-710mmHg以上,,可選用水環(huán)-大氣泵或水環(huán)-羅茨真空機組作為抽真空裝置,。
二、根據(jù)系統(tǒng)所需的氣量選擇真空泵
初步選定了泵的類型之后,,對于真空泵,,還要根據(jù)系統(tǒng)所需的氣量來選用泵的型號。關(guān)于真空泵的抽速選擇及抽氣時間計算可參照我公司網(wǎng)頁真空計算公式,。
面對各種型式的水環(huán)式真空泵及壓縮機,,我們特將其各自特點收集如下,以利于用戶選型 :
真空泵一覽表
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真空表讀數(shù)與真空度(Pa)該如何換算,?
我們經(jīng)常接到電話,一些用戶詢問,,真空表讀數(shù)所反映的究竟是多少Pa,。能不能用直觀的數(shù)字來顯示?
(1) 真空表上 “0”表示正一個大氣壓, “-0.1”表示真空,。真空表上的指示值不表示真空度的值,,只表示了真空度的相對值。
真空度的換算,; 根據(jù)本表的刻度示值范圍,,真空度的值與相對值可用下式換算:
P=1×105(1-δ/0.1) P - 真空度的值(Pa)
δ- 真空表的刻度示值值
例一:表的示值為O,則P=1×105(1-O/0.1)=1×105 Pa = 1個大氣壓
例二:表的示值為0.1,,則P=1×105(1-0.1/0.1)= 0 Pa為真空,。
(真空是不存在的)
例三:表的示值為0.08,,則P=1×105(1-0.08/0.1)= 2×104 Pa
本產(chǎn)品的真空度指標(biāo)值為<267Pa,表示本產(chǎn)品在267Pa(表面示值約為0.0997,,接近于-0.1)時的低真空度狀態(tài)下仍能保證正常工作,。產(chǎn)品的真空度主要取決于配套真空泵的性能。
真空度計量單位換算如下:
0.1Mpa =1×105 Pa = 760mmHg = 1個大氣壓
1乇 = 1mmHg = 133.33Pa
2乇 = 0.00026666Mpa ≈267Pa
(2) 真空表讀數(shù)可以用直觀的數(shù)字來顯示,。但價格比較昂貴,,一般適用于科研單位。
相關(guān)產(chǎn)品
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