海德漢HEIDENHAIN光柵尺的工作原理

概念

光柵尺,，也稱為光柵尺位移傳感器（光柵尺傳感器），是利用光柵的光學(xué)原理工作的測量反饋裝置,。光柵尺經(jīng)常應(yīng)用于數(shù)控機床的閉環(huán)伺服系統(tǒng)中,，可用作直線位移或者角位移的檢測。其測量輸出的信號為數(shù)字脈沖,，具有檢測范圍大,，檢測精度高，響應(yīng)速度快的特點,。例如,，在數(shù)控機床中常用于對刀具和工件的坐標(biāo)進(jìn)行檢測，來觀察和跟蹤走刀誤差,，以起到一個補償?shù)毒叩倪\動誤差的作用,。光柵尺按照制造方法和光學(xué)原理的不同，分為透射光柵和反射光柵,。

工作原理

莫爾條紋

以透射光柵為例,，當(dāng)指示光柵上的線紋和標(biāo)尺光柵上的線紋之間形成一個小角度θ，并且兩個光柵尺刻面相對平行放置時,，在光源的照射下,，位于幾乎垂直的柵紋上，形成明暗相間的條紋,。這種條紋稱為“莫爾條紋” (右圖所示),。嚴(yán)格地說，莫爾條紋排列的方向是與兩片光柵線紋夾角的平分線相垂直,。莫爾條紋中兩條亮紋或兩條暗紋之間的距離稱為莫爾條紋的寬度,，以W表示。

莫爾條紋

W=ω /2* sin（θ /2）=ω /θ ,。

莫爾條紋具有以下特征：

(1)莫爾條紋的變化規(guī)律

兩片光柵相對移過一個柵距,，莫爾條紋移過一個條紋距離。由于光的衍射與干涉作用,，莫爾條紋的變化規(guī)律近似正(余)弦函數(shù),，變化周期數(shù)與光柵相對位移的柵距數(shù)同步。

(2)放大作用

在兩光柵柵線夾角較小的情況下,，莫爾條紋寬度W和光柵柵距ω,、柵線角θ之間有下列關(guān)系。式中,，θ的單位為rad,，W的單位為mm。由于傾角很小,，sinθ很小,，則

W=ω /θ

若ω =0．01mm,，θ=0.01rad，則上式可得W=1,，即光柵放大了100倍,。

(3)均化誤差作用

莫爾條紋是由若干光柵條紋共用形成，例如每毫米100線的光柵,，10mm寬度的莫爾條紋就有1000條線紋,，這樣?xùn)啪嘀g的相鄰誤差就被平均化了，消除了由于柵距不均勻,、斷裂等造成的誤差,。

檢測與數(shù)據(jù)處理

電子細(xì)分與判向法

光柵測量位移的實質(zhì)是以光柵柵距為一把標(biāo)準(zhǔn)尺子對位稱量進(jìn)行測量。高分辨率的光柵尺一般造價較貴,，且制造困難,。為了提高系統(tǒng)分辨率，需要對莫爾條紋進(jìn)行細(xì)分,，光柵尺傳感器系統(tǒng)多采用電子細(xì)分方法,。當(dāng)兩塊光柵以微小傾角重疊時，在與光柵刻線大致垂直的方向上就會產(chǎn)生莫爾條紋,，隨著光柵的移動,，莫爾條紋也隨之上下移動。這樣就把對光柵柵距的測量轉(zhuǎn)換為對莫爾條紋個數(shù)的測量,。

在一個莫爾條紋寬度內(nèi),，按照一定間隔放置4個光電器件就能實現(xiàn)電子細(xì)分與判向功能。例如,，柵線為50線對/mm的光柵尺,，其光柵柵距為0.02mm，若采用四細(xì)分后便可得到分辨率為5μm的計數(shù)脈沖,，這在工業(yè)普通測控中已達(dá)到了很高精度,。由于位移是一個矢量，即要檢測其大小,，又要檢測其方向,，因此至少需要兩路相位不同的光電信號。為了消除共模干擾,、直流分量和偶次諧波,，通常采用由低漂移運放構(gòu)成的差分放大器。由4個光敏器件獲得的4路光電信號分別送到2只差分放大器輸入端,，從差分放大器輸出的兩路信號其相位差為π/2,，為得到判向和計數(shù)脈沖,，需對這兩路信號進(jìn)行整形,，首先把它們整形為占空比為1：1的方波,。然后，通過對方波的相位進(jìn)行判別比較,，就可以等到光柵尺的移動方向,。通過對方波脈沖進(jìn)行計數(shù)，可以得到光柵尺的位移和速度 ,。