旋片式真空泵的工作原理說明 | 旋片泵工作原理圖 1-泵體;2-旋片;3-轉子; ![]() | |||
![]() | 雙級旋片式真空泵由兩個工作室組成,,兩室前后串聯(lián),同向等速旋轉,,Ⅰ室是低真空級,,Ⅱ室是高真空級,被抽氣體由進氣口進入Ⅱ室,,當進入的氣體壓力較高時,,氣體經Ⅱ室壓縮,壓強急速增大,,被壓縮的氣體不僅從排氣閥排出,,而且經過中壁通道,進入Ⅰ室,在Ⅰ室被壓縮,,從低級排氣閥排出,;當進入Ⅱ室的氣體壓力較低時,雖經Ⅱ室的壓縮,,也推不開排氣閥排出,,氣體全部經中壁通道進入Ⅰ室,經Ⅰ室的繼續(xù)壓縮,,由低級排氣閥排出,,因此雙級旋片式真空泵比單級旋片式真空泵的極限真空高。 | |||
雙級旋片式真空泵工作原理圖 1-排氣閥;2-通道;3-低級排氣閥 |
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