旋片式真空泵的工作原理說明 | 旋片泵工作原理圖 1-泵體;2-旋片;3-轉(zhuǎn)子; ![]() | |||
![]() | 雙級旋片式真空泵由兩個工作室組成,,兩室前后串聯(lián),,同向等速旋轉(zhuǎn),Ⅰ室是低真空級,,Ⅱ室是高真空級,,被抽氣體由進氣口進入Ⅱ室,當(dāng)進入的氣體壓力較高時,,氣體經(jīng)Ⅱ室壓縮,,壓強急速增大,被壓縮的氣體不僅從排氣閥排出,,而且經(jīng)過中壁通道,,進入Ⅰ室,在Ⅰ室被壓縮,,從低級排氣閥排出,;當(dāng)進入Ⅱ室的氣體壓力較低時,雖經(jīng)Ⅱ室的壓縮,,也推不開排氣閥排出,,氣體全部經(jīng)中壁通道進入Ⅰ室,經(jīng)Ⅰ室的繼續(xù)壓縮,,由低級排氣閥排出,,因此雙級旋片式真空泵比單級旋片式真空泵的極限真空高。 | |||
雙級旋片式真空泵工作原理圖 1-排氣閥;2-通道;3-低級排氣閥 |
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