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1,、非晶態(tài)合金傳感器
非晶態(tài)合金是70年代末發(fā)展起來的一種新型材料，具有非常*的微觀結(jié)構(gòu),，其原子排列無規(guī)則,，即長程無序,；而鄰近原子的數(shù)目和排列有規(guī)則，即短程有序,；它沒有晶態(tài)合金中常見的晶界缺陷,，但整體上又有很高的缺陷密度，達10/以上,。這種結(jié)構(gòu)使得非晶態(tài)合金具有許多優(yōu)異特性,，而成為新一代功能材料，在電子,、電力和機械等領(lǐng)域得到日益廣泛的應用,。
2、固態(tài)圖象傳感器（CCD）
其工作過程是：首先由光學系統(tǒng)將被測物體成象在CCD的受光面上,，受光面下的許多光敏單元形成了許多象素點,，這些象素點將投射到它的光強轉(zhuǎn)換成電荷信號并存儲。然后在時鐘脈沖信號控制下,，將反映光象的被存儲的電荷信號讀取并順序輸出,，從而完成了從光圖象到電信號的轉(zhuǎn)化過程。CCD傳感器由MOS電容組成,，金屬和Si襯底是電容器兩極,，SiO2為介質(zhì)。在金屬柵上加正向電壓UG,，Si中的電子被吸引到襯底和SiO2的交界面上,，空穴被排斥,，于是在電極下形成一個表面帶負電荷的耗盡區(qū)。
3,、光纖傳感器
光纖傳感器以光學量轉(zhuǎn)換為基礎(chǔ),，以光信號為變換和傳輸?shù)妮d體，利用光導纖維輸送光信號的傳感器,。按光纖的作用,，光纖傳感器可分為功能型和傳光型兩種。功能型光纖傳感器既起著傳輸光信號作用,，又可作敏感元件,；傳光型光纖則僅起傳輸光信號作用。
4,、智能傳感器
到目前為止,，還尚未有統(tǒng)一的智能傳感器定義。一般認為：傳感器與微處理器結(jié)合并賦予人工智能的功能,，又兼有信息檢測與信息處理功能的傳感器就是智能傳感器,。
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