真空設(shè)備產(chǎn)品可分為五大類:
(1),、真空獲得設(shè)備--產(chǎn)生、改善或維持真空的裝置,。包括各種獲得粗,、低、中,、高及超高的真空泵和真空機組,。
A、機械真空泵:旋片泵,、往復(fù)泵,、滑閥泵、羅茨泵、分子泵和液環(huán)泵等,。
B,、蒸汽流真空泵:水蒸氣噴射泵、油增壓泵和油擴散泵等,。
C,、氣體捕集真空泵:鈦濺射離子泵,、低溫泵,、分子篩吸附泵和鋯鋁吸氣泵等。
D,、真空機組:即由產(chǎn)生真空,、測量真空和控制真空等組件組成的各類機組。
(2),、真空應(yīng)用設(shè)備~在真空環(huán)境下(低于一個大氣壓的氣體狀態(tài)),,應(yīng)用的各種設(shè)備。
A,、真空鍍膜機:蒸發(fā)鍍膜機,、磁控濺射鍍膜機、離子鍍膜機和等離子化學沉積裝置等,。
B,、真空冶煉爐:電阻爐、電子束爐,、電弧爐,、感應(yīng)爐和單晶爐等。
C,、真空熱處理爐:淬火爐,、回火爐、退火爐,、滲碳爐,、滲氮爐和滲金屬爐等。
D,、其它真空設(shè)備:冷凍干燥設(shè)備,、蒸餾設(shè)備、提純設(shè)備,、浸漬設(shè)備,、果蔬保鮮設(shè)備、運輸設(shè)備,、空間模擬設(shè)備,、包裝機和鋼水脫氣裝置等。
(3),、真空測量儀器一測量低于一個大氣壓的氣體和蒸氣壓力的儀器,。
A,、低真空計(測量范圍105---102Pa)。
B,、中真空計(測量范圍l02一l0-1Pa),。
C、高真空計(測量范圍l0-1一10-5Pa),。
D,、超高真空計(測量范圍< 10-5Pa)。
(4),、真空檢漏儀一檢測真空系統(tǒng)或元件漏孔的位置或漏率的儀器,。包括高頻火花檢漏儀、鹵素檢漏儀和氦質(zhì)譜檢漏儀等,。
(5),、真空閥門一在真空系統(tǒng)中,用于調(diào)節(jié)流量,、切斷或接通管路的元件,。包括插板閥、擋板閥,、蝶閥,、電磁閥、電磁帶放氣閥,、壓差閥,、球閥、隔膜閥和調(diào)節(jié)閥等
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