1,、干式泵(非潤滑)
提供*潔凈的真空環(huán)境,。只需較少維護(hù),,且不會產(chǎn)生任何廢料,。然而,,干式泵的初始成本較高,。常用的干式泵包括隔膜泵,、活塞泵、渦旋泵和渦輪分子泵,。
2,、水性泵
可以較低的初始成本實(shí)現(xiàn)低真空,只需zui少程度的維護(hù),。這些泵均具有耐腐蝕性,。然而,它們并不適用于水蒸汽敏感系統(tǒng),。處理污水是這些泵的另一主要問題,。常用的水性泵包括吸水泵。
3,、油潤滑泵
價格適中,,可提供較高的泵送速度和廣泛的極限真空度,。然而,這些泵需要日常維護(hù)并更換機(jī)油,。這些油可能會污染真空環(huán)境,。這些泵還需配備進(jìn)口過濾器和出口過濾器,以便保護(hù)泵體和周圍環(huán)境,。常用的油潤滑泵包括旋片式真空泵和齒輪泵,。
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