美國MKS真空計分類原理介紹
美國MKS真空計按照真空計測量原理所利用的不同的物理機制,，可將主要的真空計分為三大類，分別是利用力學性能,、利用氣體動力學效應和利用帶電粒子效應的真空計。
利用力學性能的真空計典型的有波爾登規(guī)（Bourdon）和薄膜電容規(guī),；利用氣體動力學效應的典型真空計有皮拉尼（Pirani）電阻規(guī)和熱電偶規(guī),；利用帶電粒子效應的典型真空計有熱陰極電離規(guī)和冷陰極電離規(guī),。
美國MKS真空計波爾登規(guī)
細的銅管受氣體壓力不同會有舒展現(xiàn)象,，會帶動杠桿和齒輪旋轉(zhuǎn)，使得指針指示在不同刻度上,，即可讀出相應的氣壓值,。
這種規(guī)的測量范圍一般在100Pa至1atm。
美國MKS真空計薄膜電容規(guī)
在不同壓力下金屬膜片受力不同會有不同尺度的變形,，使得金屬膜片和電極之間的電容變化,，通過測量電容的變化量，即可知道金屬膜片上氣壓的變化,。
這種規(guī)的測量范圍一般橫跨4個量級,，比如可能是0.01Pa至100Pa、0.1Pa至1000Pa等,。
這種規(guī)的優(yōu)點是靈敏度很高,。缺點是必須在高于環(huán)境溫度的恒溫條件下使用，以消除溫度不同對膜片力學性能的影響,，使用前一般需要預熱數(shù)小時,。
美國MKS真空計皮拉尼電阻規(guī)
也叫做熱電阻真空計，它是利用電阻與溫度之間關系的原理工作的,。
由于不同氣壓下氣體分子熱傳導能力不同,，當給熱絲加恒定的電流時，由于氣壓不同通過氣體傳導走的熱量不同,，熱絲所保持的溫度就不同,，這導致熱絲電阻大小不同，通過測量熱絲電阻大小就可以推算氣壓大小,。
如果配合電橋測量熱絲電阻的變化,，將有效提高測量的準確度。
這種規(guī)的測量范圍一般在0.1Pa至1000Pa,。
由于不同氣體在相同氣壓時導熱性不同,，所以這種規(guī)需要在不同的使用氣體下標定,。
熱電偶規(guī)與皮拉尼電阻規(guī)基本原理一致，只是它不用測量熱絲電阻的變化,，而是用熱電偶直接測量熱比的溫度變化,。
測量范圍一般與在0.1Pa至1000Pa。
與皮拉尼電阻規(guī)一樣,，這種規(guī)也需要在不同的使用氣體下標定,。