1,、氣體工業(yè)名詞術(shù)語粒子計數(shù)可采用激光粒子計數(shù)器或凝聚核粒子計數(shù)器,。He2Ne激光粒子計數(shù)器,，可分析氣體中011μm粒徑的顆粒雜質(zhì),；Ar2Kr激光粒子計數(shù)器可分析0105μm粒徑顆粒雜質(zhì),，目前已有可檢測超高純氣中01005μm的粒子計數(shù)器,。光電塵粒計數(shù)器是一種利用光的散射原理進行塵粒計數(shù)的儀器。一定流量的含塵氣體通過一束強光,，使粒子發(fā)射出散射光,，經(jīng)過聚光透鏡投射到光電倍增管上，將光脈沖變?yōu)殡娒}沖,，由脈沖數(shù)求得顆粒數(shù),。根據(jù)粒子散射光的強度與粒徑的函數(shù)關(guān)系得出粒子直徑。粒子計數(shù)器是高純或超高純供氣系統(tǒng)中必*儀器,。價格較昂貴,。
2、激光塵埃粒子計數(shù)器的工作原理激光塵埃粒子計數(shù)器基本原理是光學(xué)傳感器的探測激光經(jīng)塵埃粒子散射后被光敏元件接收并產(chǎn)生脈沖信號,，該脈沖信號被輸出并放大,，然后進行數(shù)字信號處理，通過與標(biāo)準(zhǔn)粒子信號進行比較,，將對比結(jié)果用不同的參數(shù)表示出來,。空氣中的微粒在光的照射下會發(fā)生散射,，這種現(xiàn)象叫光散射,。光散射和微粒大小,、光波波長、微粒折射率及微粒對光的吸收特性等因素有關(guān),。但是就散射光強度和微粒大小而言,，有一個基本規(guī)律，就是微粒散射光的強度隨微粒的表面積增加而增大,。這樣只要測定散射光的強度就可推知微粒的大小,，實際上，每個粒子產(chǎn)生的散射光強度很弱,，是一個很小的光脈沖,，需要通過光電轉(zhuǎn)換器的放大作用，把光脈沖轉(zhuǎn)化為信號幅度較大的電脈沖,，然后再經(jīng)過電子線路的進一步放大和甄別,，從而完成對大量電脈沖的計數(shù)工作。此時,，電脈沖數(shù)量對應(yīng)于微粒的個數(shù),，電脈沖的幅度對應(yīng)于微粒的大小。這就是光散射式激光塵埃粒子計數(shù)器的基本工作原理,。