1.正確的選擇真空泵的工作點。每種泵都有一定的工作壓強(qiáng)范圍,，如鈦升華泵可以在10-2mmHg下工作,，但其工作壓強(qiáng)應(yīng)小于1×10-5mmHg為好,。

2.真空泵的工作壓強(qiáng)應(yīng)該滿足真空設(shè)備的極限真空及工作壓強(qiáng)要求,。如：真空鍍膜要求1×10-5mmHg的真空度,，選用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg,。

3.真空設(shè)備對油污染的要求,。若設(shè)備嚴(yán)格要求無油時,，應(yīng)該選各種無油泵，如：水環(huán)泵,、分子篩吸附泵,、濺射離子泵、低溫泵等,。如果要求不嚴(yán)格,，可以選擇有油泵，加上一些防油污染措施,，如加冷阱,、障板、擋油阱等,，也能達(dá)到清潔真空要求,。

4.真空泵工作時產(chǎn)生的振動對工藝過程及環(huán)境有無影響。若工藝過程不允許,，應(yīng)選擇無振動的泵或者采取防振動措施,。

5.真空泵排出來的油蒸氣對環(huán)境的影響如何。如果環(huán)境不允許有污染,，可以選無油真空泵,，或者把油蒸氣排到室外。

6.了解被抽氣體成分,，氣體中含不含可凝蒸氣,，有無顆粒灰塵,，有無腐蝕性等,。在選擇真空泵時，需要知道氣體成分,，針對被抽氣體選擇相應(yīng)的泵,，如果氣體中含有蒸氣,、顆粒、及腐蝕性氣體,，應(yīng)該考慮在泵的進(jìn)氣口管路上安裝輔助設(shè)備,，如冷凝器、除塵器等,。