Oerlikon真空計如何分類?
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按真空度刻度方法分類 (1)真空計:讀取氣體壓力,,其壓力響應(刻度)可通過自身幾何尺寸計算出來或由測力確定,。真空計對氣體都是準確的且與氣體種類無關,屬于真空計的有U型鎊壓力計,、壓縮式真空計和熱輻射真空計等,。
(2)相對真空計:由一些氣體壓力有函數(shù)關系的量來確定壓力,不能通過簡單的計算進刻度,,必須進行校準才能刻度,。相對真空計一般由作為傳感器的真空計規(guī)管(或規(guī)頭)和用于控制、指示的測量器組成,。讀數(shù)與氣體種類有關,。相對真空計的種類很多,如熱傳導真空計和電離真空計等,。 按真空計測量原理分類 測量真空計 這種真空計測量單位面積上的力,,
有: (1)靜態(tài)液位真空計:利用U型管兩端液面差來測量壓力。
(2)彈性元件真空計:利用與真空相連的容器表面受到壓力的作用而產(chǎn)生彈性變形來測量壓力值的大小,。 間接測量真空計 壓力為10-1Pa時,,作用在1cm2表面上力只有10-5N,顯然測量這樣小的力是困難的,。但可根據(jù)低壓下與氣體壓力有關的物理量的變化來間接測量壓力的變化,。屬于這類的真空計有: (1)壓縮式真空計:其原理是在U型管的基礎上再應用波義耳定律,即將一定量待測壓力的氣體,,經(jīng)過等溫壓縮...
Oerlikon真空計 分類原理介紹編輯 按照真空計測量原理所利用的不同的物理機制,,可將主要的真空計分為三大類,分別是利用力學性能,、利用氣體動力學效應和利用帶電粒子效應的真空計,。
利用力學性能的真空計典型的有波爾登規(guī)(Bourdon)和薄膜電容規(guī);利用氣體動力學效應的典型真空計有皮拉尼(Pirani)電阻規(guī)和熱電偶規(guī),;利用帶電粒子效應的典型真空計有熱陰電離規(guī)和冷陰電離規(guī),。
真空計波爾登規(guī)(Bourdon)
波爾登規(guī) 如右圖所示,細的銅管受氣體壓力不同會有舒展現(xiàn)象,,會帶動杠桿和齒輪旋轉,,使得指針指示在不同刻度上,即可讀出相應的氣壓值,。
這種規(guī)的測量范圍一般在100Pa至1atm,。
真空計薄膜電容規(guī)
薄膜電容規(guī) 如右圖所示,在不同壓力下金屬膜片受力不同會有不同尺度的變形,,使得金屬膜片和電之間的電容變化,,通過測量電容的變化量,即可知道金屬膜片上氣壓的變化,。
這種規(guī)的測量范圍一般橫跨4個量級,,比如可能是0.01Pa至100Pa,、0.1Pa至1000Pa等。
這種規(guī)的優(yōu)點是靈敏度很高,。缺點是必須在高于環(huán)境溫度的恒溫條件下使用,,以消除溫度不同對膜片力學性能的影響,使用前一般需要預熱數(shù)小時,。
Oerlikon真空計皮拉尼電阻規(guī)
皮拉尼電阻規(guī) 也叫做熱電阻真空計,,它是利用電阻與溫度之間關系的原理工作的。
如右圖所示,,由于不同氣壓下氣體分子熱傳導能力不同,,當給熱絲加恒定的電流時,由于氣壓不同通過氣體傳導走的熱量不同,,熱絲所保持的溫度就不同,,這導致熱絲電阻大小不同,通過測量熱絲電阻大小就可以推算氣壓大小,。
如果配合電橋測量熱絲電阻的變化,,將有效提高測量的準確度。
這種規(guī)的測量范圍一般在0.1Pa至1000Pa,。
由于不同氣體在相同氣壓時導熱性不同,,所以這種規(guī)需要在不同的使用氣體下標定。
真空計熱電偶規(guī)
Oerlikon真空計 熱電偶規(guī) 如右圖所示,,熱電偶規(guī)與皮拉尼電阻規(guī)基本原理一致,,只是它不用測量熱絲電阻的變化,而是用熱電偶測量熱比的溫度變化,。
測量范圍一般與在0.1Pa至1000Pa,。
與皮拉尼電阻規(guī)一樣,這種規(guī)也需要在不同的使用氣體下標定,。
Oerlikon真空計熱陰電離規(guī)
熱陰電離規(guī) 如右圖所示,,熱陰電離規(guī)中,由熱陰即燈絲發(fā)射電子,,電離真空中的氣體分子,,產(chǎn)生離子,由收集收集產(chǎn)生的離子,,形成離子電流,,通過測量離子電流的大小即可推算出真空中氣體分子的密度,進而得到氣壓大小,。
這種規(guī)的測量范圍一般為1.0E-05Pa至0.1Pa,。
經(jīng)改進后的熱陰電離規(guī),Bayard-Alpert規(guī),可以將測量下限降低至1.0E-09Pa,。
由于不同氣體在相同氣壓下的電離率不同,,這種規(guī)在使用時也需要在不同氣體下進行標定。
真空計冷陰電離規(guī)
冷陰電離規(guī) 如右圖所示,,冷陰電離規(guī)也是通過電離氣體分子收集離子電流的方法進行氣壓測量,但與熱陰電離規(guī)不同的是,,它是利用磁控放電電離氣體分子產(chǎn)生離子,。
這種規(guī)的測量范圍一般為1.0E-07Pa至0.1Pa。
與熱陰電離規(guī)同樣的原因,,這種規(guī)在使用時需要在不同氣體下標定,。
Oerlikon真空計
一、氣動元件:
品牌:FESTO氣動元件,,寶德BURKERT電磁閥,,海隆諾冠 ;
日本品牌:日本SMC氣動元件 日本CKD氣動元件 小金井氣動元件日本NOK;
韓國品牌:韓國YPC氣動元件, 韓國TKC 韓國YSC氣動元件TPC氣動元件;
意大利品牌:意大利UNIVER,, 意大利康茂盛,,ASCO電磁閥, ROSS
二,、工控產(chǎn)品:
品牌:PILZ繼電器 ,,IFM傳感器 ,海德漢HEIDENHAIN,,
P+F傳感器,,RENCON編碼器;TURCH圖爾克, 赫斯曼工業(yè) 交機
日本品牌:日本歐姆龍傳感器 日本神視 日本基恩士 ,,日本奧普士;
日本SUMTAK(盛太克)編碼器,,日本內密控編碼器,
三,、液壓元件
NUMATICS紐曼帝克,,PARKER氣動液壓,VICKERS威格士,, MOOG,,F(xiàn)AIRCHILD,ROSEMOUNT羅斯蒙特,,丹尼遜
HAWE哈威 REXROTH力士樂,,HYDAC賀德克,E+H
日本油研(YUKEN)日本不二越NACHI,, 日本TOYOOKI豐興日本大金
意大利ATOS阿托斯
相關產(chǎn)品
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