Oerlikon真空計(jì)原理介紹
Oerlikon真空計(jì) 熱電偶規(guī) 如右圖所示，熱電偶規(guī)與皮拉尼電阻規(guī)基本原理一致,，只是它不用測(cè)量熱絲電阻的變化,，而是用熱電偶測(cè)量熱比的溫度變化。
測(cè)量范圍一般與在0.1Pa至1000Pa,。
與皮拉尼電阻規(guī)一樣,，這種規(guī)也需要在不同的使用氣體下標(biāo)定。
Oerlikon真空計(jì)熱陰電離規(guī)
熱陰電離規(guī) 如右圖所示,，熱陰電離規(guī)中,，由熱陰即燈絲發(fā)射電子，電離真空中的氣體分子,，產(chǎn)生離子,，由收集收集產(chǎn)生的離子，形成離子電流,，通過(guò)測(cè)量離子電流的大小即可推算出真空中氣體分子的密度,，進(jìn)而得到氣壓大小。
這種規(guī)的測(cè)量范圍一般為1.0E-05Pa至0.1Pa,。
經(jīng)改進(jìn)后的熱陰電離規(guī),，Bayard-Alpert規(guī)，可以將測(cè)量下限降低至1.0E-09Pa,。
由于不同氣體在相同氣壓下的電離率不同,，這種規(guī)在使用時(shí)也需要在不同氣體下進(jìn)行標(biāo)定。
真空計(jì)冷陰電離規(guī)
冷陰電離規(guī) 如右圖所示,，冷陰電離規(guī)也是通過(guò)電離氣體分子收集離子電流的方法進(jìn)行氣壓測(cè)量,，但與熱陰電離規(guī)不同的是，它是利用磁控放電電離氣體分子產(chǎn)生離子,。
這種規(guī)的測(cè)量范圍一般為1.0E-07Pa至0.1Pa,。
與熱陰電離規(guī)同樣的原因，這種規(guī)在使用時(shí)需要在不同氣體下標(biāo)定,。
Oerlikon真空計(jì)
按照Oerlikon真空計(jì)測(cè)量原理所利用的不同的物理機(jī)制,，可將主要的真空計(jì)分為三大類，分別是利用力學(xué)性能,、利用氣體動(dòng)力學(xué)效應(yīng)和利用帶電粒子效應(yīng)的真空計(jì),。
利用力學(xué)性能的真空計(jì)典型的有波爾登規(guī)（Bourdon）和薄膜電容規(guī)；利用氣體動(dòng)力學(xué)效應(yīng)的典型真空計(jì)有皮拉尼（Pirani）電阻規(guī)和熱電偶規(guī),；利用帶電粒子效應(yīng)的典型真空計(jì)有熱陰電離規(guī)和冷陰電離規(guī)。 如右圖所示,，細(xì)的銅管受氣體壓力不同會(huì)有舒展現(xiàn)象,，會(huì)帶動(dòng)杠桿和齒輪旋轉(zhuǎn)，使得指針指示在不同刻度上，即可讀出相應(yīng)的氣壓值,。
這種規(guī)的測(cè)量范圍一般在100Pa至1atm,。 如右圖所示，在不同壓力下金屬膜片受力不同會(huì)有不同尺度的變形,，使得金屬膜片和電之間的電容變化,，通過(guò)測(cè)量電容的變化量，即可知道金屬膜片上氣壓的變化,。
這種規(guī)的測(cè)量范圍一般橫跨4個(gè)量級(jí),，比如可能是0.01Pa至100Pa、0.1Pa至1000Pa等,。
這種規(guī)的優(yōu)點(diǎn)是靈敏度很高,。缺點(diǎn)是必須在高于環(huán)境溫度的恒溫條件下使用，以消除溫度不同對(duì)膜片力學(xué)性能的影響,，使用前一般需要預(yù)熱數(shù)小時(shí),。 也叫做熱電阻真空計(jì)，它是利用電阻與溫度之間關(guān)系的原理工作的,。
如右圖所示,，由于不同氣壓下氣體分子熱傳導(dǎo)能力不同，當(dāng)給熱絲加恒定的電流時(shí),，由于氣壓不同通過(guò)氣體傳導(dǎo)走的熱量不同,，熱絲所保持的溫度就不同，這導(dǎo)致熱絲電阻大小不同,，通過(guò)測(cè)量熱絲電阻大小就可以推算氣壓大小,。
如果配合電橋測(cè)量熱絲電阻的變化，將有效提高測(cè)量的準(zhǔn)確度,。
這種規(guī)的測(cè)量范圍一般在0.1Pa至1000Pa,。
由于不同氣體在相同氣壓時(shí)導(dǎo)熱性不同，所以這種規(guī)需要在不同的使用氣體下標(biāo)定,。 如右圖所示,，熱電偶規(guī)與皮拉尼電阻規(guī)基本原理一致，只是它不用測(cè)量熱絲電阻的變化,，而是用熱電偶測(cè)量熱比的溫度變化,。
測(cè)量范圍一般與在0.1Pa至1000Pa。
與皮拉尼電阻規(guī)一樣,，這種規(guī)也需要在不同的使用氣體下標(biāo)定,。 如右圖所示，熱陰電離規(guī)中,，由熱陰即燈絲發(fā)射電子,，電離真空中的氣體分子,，產(chǎn)生離子，由收集收集產(chǎn)生的離子,，形成離子電流,，通過(guò)測(cè)量離子電流的大小即可推算出真空中氣體分子的密度，進(jìn)而得到氣壓大小,。
這種規(guī)的測(cè)量范圍一般為1.0E-05Pa至0.1Pa,。
經(jīng)改進(jìn)后的熱陰電離規(guī)，Bayard-Alpert規(guī),，可以將測(cè)量下限降低至1.0E-09Pa,。
由于不同氣體在相同氣壓下的電離率不同，這種規(guī)在使用時(shí)也需要在不同氣體下進(jìn)行標(biāo)定,。 如右圖所示,，冷陰電離規(guī)也是通過(guò)電離氣體分子收集離子電流的方法進(jìn)行氣壓測(cè)量，但與熱陰電離規(guī)不同的是,，它是利用磁控放電電離氣體分子產(chǎn)生離子,。
萊寶真空計(jì)TTR91S，萊寶TTR91S真空計(jì),，TTR91S萊寶真空計(jì),，真空規(guī)管，皮拉尼計(jì)
萊寶真空計(jì)有：
- 用于測(cè)量粗真空的各種工作原理的機(jī)械指針式真空表,。
- 各種間接測(cè)量的數(shù)顯真空規(guī),，它們是：
- 熱電阻真空規(guī)(皮拉尼規(guī)) TTR91、TTR91S,、TTR96,、TTR96S
- 冷陰電離真空規(guī)(潘寧規(guī)) PTR225
- 薄膜電容規(guī) CTR100、CTR91
- 薄膜/皮拉尼復(fù)合規(guī) TTR100,、TTR100S
- 冷陰電離/皮拉尼復(fù)合規(guī) PTR90
- 熱陰電離/皮拉尼復(fù)合規(guī) ITR90
- 便攜式真空表TM90,、TM100
- 新型Center和Display系列真空計(jì)
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萊寶真空計(jì)TTR91S,，萊寶TTR91S真空計(jì),，TTR91S萊寶真空計(jì)
按真空度刻度方法分類 (1)真空計(jì)：讀取氣體壓力，其壓力響應(yīng)(刻度)可通過(guò)自身幾何尺寸計(jì)算出來(lái)或由測(cè)力確定,。真空計(jì)對(duì)氣體都是準(zhǔn)確的且與氣體種類無(wú)關(guān),，屬于真空計(jì)的有U型鎊壓力計(jì),、壓縮式真空計(jì)和熱輻射真空計(jì)等。 (2)相對(duì)真空計(jì)：由一些氣體壓力有函數(shù)關(guān)系的量來(lái)確定壓力,，不能通過(guò)簡(jiǎn)單的計(jì)算進(jìn)刻度，必須進(jìn)行校準(zhǔn)才能刻度,。相對(duì)真空計(jì)一般由作為傳感器的真空計(jì)規(guī)管(或規(guī)頭)和用于控制,、指示的測(cè)量器組成。讀數(shù)與氣體種類有關(guān),。相對(duì)真空計(jì)的種類很多,，如熱傳導(dǎo)真空計(jì)和電離真空計(jì)等。 按真空計(jì)測(cè)量原理分類 測(cè)量真空計(jì) 這種真空計(jì)測(cè)量單位面積上的力,，有: (1)靜態(tài)液位真空計(jì)：利用U型管兩端液面差來(lái)測(cè)量壓力,。 (2)彈性元件真空計(jì)：利用與真空相連的容器表面受到壓力的作用而產(chǎn)生彈性變形來(lái)測(cè)量壓力值的大小。 間接測(cè)量真空計(jì) 壓力為10-1Pa時(shí),，作用在1cm2表面上力只有10-5N,，顯然測(cè)量這樣小的力是困難的。但可根據(jù)低壓下與氣體壓力有關(guān)的物理量的變化來(lái)間接測(cè)量壓力的變化,。屬于這類的真空計(jì)有： (1)壓縮式真空計(jì)：其原理是在U型管的基礎(chǔ)上再應(yīng)用波義耳定律,，即將一定量待測(cè)壓力的氣體，經(jīng)過(guò)等溫壓縮...