Oerlikon真空計原理介紹
Oerlikon真空計 熱電偶規(guī) 如右圖所示,，熱電偶規(guī)與皮拉尼電阻規(guī)基本原理一致,，只是它不用測量熱絲電阻的變化，而是用熱電偶直接測量熱比的溫度變化,。
測量范圍一般與在0.1Pa至1000Pa,。
與皮拉尼電阻規(guī)一樣，這種規(guī)也需要在不同的使用氣體下標定,。
Oerlikon真空計熱陰極電離規(guī)
熱陰極電離規(guī) 如右圖所示,，熱陰極電離規(guī)中，由熱陰極即燈絲發(fā)射電子,，電離真空中的氣體分子,，產(chǎn)生離子，由收集極收集產(chǎn)生的離子,，形成離子電流,，通過測量離子電流的大小即可推算出真空中氣體分子的密度，進而得到氣壓大小,。
這種規(guī)的測量范圍一般為1.0E-05Pa至0.1Pa,。
經(jīng)改進后的熱陰極電離規(guī)，Bayard-Alpert規(guī)，可以將測量下限降低至1.0E-09Pa,。
由于不同氣體在相同氣壓下的電離率不同,，這種規(guī)在使用時也需要在不同氣體下進行標定。
真空計冷陰極電離規(guī)
冷陰極電離規(guī) 如右圖所示,，冷陰極電離規(guī)也是通過電離氣體分子收集離子電流的方法進行氣壓測量,，但與熱陰極電離規(guī)不同的是，它是利用磁控放電電離氣體分子產(chǎn)生離子,。
這種規(guī)的測量范圍一般為1.0E-07Pa至0.1Pa,。
與熱陰極電離規(guī)同樣的原因，這種規(guī)在使用時需要在不同氣體下標定,。
Oerlikon真空計
按照Oerlikon真空計測量原理所利用的不同的物理機制,，可將主要的真空計分為三大類，分別是利用力學性能,、利用氣體動力學效應(yīng)和利用帶電粒子效應(yīng)的真空計,。
利用力學性能的真空計典型的有波爾登規(guī)（Bourdon）和薄膜電容規(guī)；利用氣體動力學效應(yīng)的典型真空計有皮拉尼（Pirani）電阻規(guī)和熱電偶規(guī),；利用帶電粒子效應(yīng)的典型真空計有熱陰極電離規(guī)和冷陰極電離規(guī)。 如右圖所示,，細的銅管受氣體壓力不同會有舒展現(xiàn)象,，會帶動杠桿和齒輪旋轉(zhuǎn)，使得指針指示在不同刻度上,，即可讀出相應(yīng)的氣壓值,。
這種規(guī)的測量范圍一般在100Pa至1atm。 如右圖所示,，在不同壓力下金屬膜片受力不同會有不同尺度的變形,，使得金屬膜片和電極之間的電容變化，通過測量電容的變化量,，即可知道金屬膜片上氣壓的變化,。
這種規(guī)的測量范圍一般橫跨4個量級，比如可能是0.01Pa至100Pa,、0.1Pa至1000Pa等,。
這種規(guī)的優(yōu)點是靈敏度很高。缺點是必須在高于環(huán)境溫度的恒溫條件下使用,，以消除溫度不同對膜片力學性能的影響,，使用前一般需要預熱數(shù)小時。 也叫做熱電阻真空計,，它是利用電阻與溫度之間關(guān)系的原理工作的,。
如右圖所示，由于不同氣壓下氣體分子熱傳導能力不同，當給熱絲加恒定的電流時,，由于氣壓不同通過氣體傳導走的熱量不同,，熱絲所保持的溫度就不同，這導致熱絲電阻大小不同,，通過測量熱絲電阻大小就可以推算氣壓大小,。
如果配合電橋測量熱絲電阻的變化，將有效提高測量的準確度,。
這種規(guī)的測量范圍一般在0.1Pa至1000Pa,。
由于不同氣體在相同氣壓時導熱性不同，所以這種規(guī)需要在不同的使用氣體下標定,。 如右圖所示,，熱電偶規(guī)與皮拉尼電阻規(guī)基本原理一致，只是它不用測量熱絲電阻的變化,，而是用熱電偶直接測量熱比的溫度變化,。
測量范圍一般與在0.1Pa至1000Pa。
與皮拉尼電阻規(guī)一樣,，這種規(guī)也需要在不同的使用氣體下標定,。 如右圖所示，熱陰極電離規(guī)中,，由熱陰極即燈絲發(fā)射電子,，電離真空中的氣體分子，產(chǎn)生離子,，由收集極收集產(chǎn)生的離子,，形成離子電流，通過測量離子電流的大小即可推算出真空中氣體分子的密度,，進而得到氣壓大小,。
這種規(guī)的測量范圍一般為1.0E-05Pa至0.1Pa。
經(jīng)改進后的熱陰極電離規(guī),，Bayard-Alpert規(guī),，可以將測量下限降低至1.0E-09Pa。
由于不同氣體在相同氣壓下的電離率不同,，這種規(guī)在使用時也需要在不同氣體下進行標定,。 如右圖所示，冷陰極電離規(guī)也是通過電離氣體分子收集離子電流的方法進行氣壓測量,，但與熱陰極電離規(guī)不同的是,，它是利用磁控放電電離氣體分子產(chǎn)生離子。
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德國萊寶真空計有：
- 用于測量粗真空的各種工作原理的機械指針式真空表,。
- 各種間接測量的數(shù)顯真空規(guī),，它們是：
- 熱電阻真空規(guī)(皮拉尼規(guī)) TTR91、TTR91S,、TTR96,、TTR96S
- 冷陰極電離真空規(guī)(潘寧規(guī)) PTR225
- 薄膜電容規(guī) CTR100、CTR91
- 薄膜/皮拉尼復合規(guī) TTR100,、TTR100S
- 冷陰極電離/皮拉尼復合規(guī) PTR90
- 熱陰極電離/皮拉尼復合規(guī) ITR90
- 便攜式真空表TM90,、TM100
- 新型Center和Display系列真空計
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按真空度刻度方法分類 (1)真空計：直接讀取氣體壓力，其壓力響應(yīng)(刻度)可通過自身幾何尺寸計算出來或由測力確定,。真空計對所有氣體都是準確的且與氣體種類無關(guān),，屬于真空計的有U型鎊壓力計、壓縮式真空計和熱輻射真空計等,。 (2)相對真空計：由一些氣體壓力有函數(shù)關(guān)系的量來確定壓力,，不能通過簡單的計算進刻度,，必須進行校準才能刻度,。相對真空計一般由作為傳感器的真空計規(guī)管(或規(guī)頭)和用于控制、指示的測量器組成,。讀數(shù)與氣體種類有關(guān),。相對真空計的種類很多，如熱傳導真空計和電離真空計等,。 按真空計測量原理分類 直接測量真空計 這種真空計直接測量單位面積上的力,，有: (1)靜態(tài)液位真空計：利用U型管兩端液面差來測量壓力。 (2)彈性元件真空計：利用與真空相連的容器表面受到壓力的作用而產(chǎn)生彈性變形來測量壓力值的大小,。 間接測量真空計 壓力為10-1Pa時,，作用在1cm2表面上力只有10-5N，顯然測量這樣小的力是困難的,。但可根據(jù)低壓下與氣體壓力有關(guān)的物理量的變化來間接測量壓力的變化,。屬于這類的真空計有： (1)壓縮式真空計：其原理是在U型管的基礎(chǔ)上再應(yīng)用波義耳定律,，即將一定量待測壓力的氣體，經(jīng)過等溫壓縮...