潔凈室高校過濾器的檢漏目前有2種主要方法：

1. 塵埃粒子計數(shù)器法 

2. 光度計法（DOP檢測）

一,、說明

1. 過濾網(wǎng)的泄漏測試應(yīng)當(dāng)是無塵室測試中，復(fù)雜、耗時間的測量項目,。泄漏測試的目的,，是要確認(rèn)： 1.濾網(wǎng)的材料無破損， 2. 安裝恰當(dāng),。濾網(wǎng)出廠前當(dāng)然要經(jīng)過泄漏測試,，但是在搬運與安裝過程難保*無損，而且濾網(wǎng)的重要性又大于一切,，因此安裝完畢都要做一次掃描,，以確認(rèn)濾材無任何泄漏。另外,，若是安裝不恰當(dāng),，微粒會從邊框漏進無塵室風(fēng)口。就算是 FFU 系統(tǒng),，天花板上是負(fù)壓,，若是邊框機有微粒日后仍舊會產(chǎn)生問題。因此,，邊框掃描一樣重要,。 濾網(wǎng)泄漏測試基本上是利用濾網(wǎng)上游的顆粒，然后在濾網(wǎng)下表面與邊框用微粒探測儀器搜尋有無泄漏,。泄漏測試有幾種不同的方式,，適用在不同的場合。測試方式有： 1. 氣膠光度計測試法,， 2. 微粒計數(shù)器測試法,， 3. 全效率測試法， 4. 外氣測試法,。后兩種現(xiàn)在使用非常少,。

二、方法

1. 氣溶膠光度計測試法

111氣膠光度計測試法是早期的測試方式,，但是因為效果非常好,，到今天仍舊沿用。氣膠光度計（ Aerosol Photometer ）是微粒計數(shù)器的一種,，也是使用雷射科技,，但是它在掃描空氣樣本的微粒之后，所給的是微粒的總體強度,，不是微粒數(shù)目,。 DOP 是一種油性化學(xué)物質(zhì)，現(xiàn)改用PAO,加壓或加熱霧化之后,，可以產(chǎn)生次微米等級的微粒,，可用來模擬無塵室的微粒，因此被當(dāng)成驗證微粒。

2. 微粒計數(shù)器測試法

111半導(dǎo)體業(yè)方面,，早期也是使用 DOP/PAO 與氣膠光度計,，但是隨著制造精密度增加，油性挑戰(zhàn)微粒逐漸不容許在無塵室使用,，因此出現(xiàn)使用干式灰塵當(dāng)成挑戰(zhàn)微粒,，在上游施放，然后用微粒計數(shù)器在下游掃描,，尋找泄漏，基本概念*相同,。經(jīng)過科學(xué)家一步步研究結(jié)果,，發(fā)現(xiàn) PSL 因為微粒的粒徑與濃度可以控制，因此是目前廣為使用的標(biāo)準(zhǔn)微粒,。使用時只要把 PSL 溶液霧化,，導(dǎo)入濾網(wǎng)上游即可。