潔凈室高校過濾器的檢漏目前有2種主要方法：

1. 塵埃粒子計(jì)數(shù)器法 

2. 光度計(jì)法（DOP檢測(cè)）

一,、說明

1. 過濾網(wǎng)的泄漏測(cè)試應(yīng)當(dāng)是無(wú)塵室測(cè)試中,，復(fù)雜,、耗時(shí)間的測(cè)量項(xiàng)目,。泄漏測(cè)試的目的,，是要確認(rèn)： 1.濾網(wǎng)的材料無(wú)破損,， 2. 安裝恰當(dāng)。濾網(wǎng)出廠前當(dāng)然要經(jīng)過泄漏測(cè)試,，但是在搬運(yùn)與安裝過程難保*無(wú)損,，而且濾網(wǎng)的重要性又大于一切，因此安裝完畢都要做一次掃描,，以確認(rèn)濾材無(wú)任何泄漏,。另外，若是安裝不恰當(dāng),，微粒會(huì)從邊框漏進(jìn)無(wú)塵室風(fēng)口,。就算是 FFU 系統(tǒng)，天花板上是負(fù)壓,，若是邊框機(jī)有微粒日后仍舊會(huì)產(chǎn)生問題,。因此，邊框掃描一樣重要,。 濾網(wǎng)泄漏測(cè)試基本上是利用濾網(wǎng)上游的顆粒,，然后在濾網(wǎng)下表面與邊框用微粒探測(cè)儀器搜尋有無(wú)泄漏。泄漏測(cè)試有幾種不同的方式,，適用在不同的場(chǎng)合,。測(cè)試方式有： 1. 氣膠光度計(jì)測(cè)試法， 2. 微粒計(jì)數(shù)器測(cè)試法,， 3. 全效率測(cè)試法,， 4. 外氣測(cè)試法。后兩種現(xiàn)在使用非常少,。

二,、方法

1. 氣溶膠光度計(jì)測(cè)試法

111氣膠光度計(jì)測(cè)試法是早期的測(cè)試方式，但是因?yàn)樾Ч浅：?，到今天仍舊沿用,。氣膠光度計(jì)（ Aerosol Photometer ）是微粒計(jì)數(shù)器的一種，也是使用雷射科技,，但是它在掃描空氣樣本的微粒之后,，所給的是微粒的總體強(qiáng)度，不是微粒數(shù)目,。 DOP 是一種油性化學(xué)物質(zhì),，現(xiàn)改用PAO,加壓或加熱霧化之后，可以產(chǎn)生次微米等級(jí)的微粒，可用來模擬無(wú)塵室的微粒,，因此被當(dāng)成驗(yàn)證微粒,。

2. 微粒計(jì)數(shù)器測(cè)試法

111半導(dǎo)體業(yè)方面，早期也是使用 DOP/PAO 與氣膠光度計(jì),，但是隨著制造精密度增加,，油性挑戰(zhàn)微粒逐漸不容許在無(wú)塵室使用，因此出現(xiàn)使用干式灰塵當(dāng)成挑戰(zhàn)微粒,，在上游施放,，然后用微粒計(jì)數(shù)器在下游掃描，尋找泄漏,，基本概念*相同,。經(jīng)過科學(xué)家一步步研究結(jié)果，發(fā)現(xiàn) PSL 因?yàn)槲⒘５牧脚c濃度可以控制,，因此是目前廣為使用的標(biāo)準(zhǔn)微粒,。使用時(shí)只要把 PSL 溶液霧化，導(dǎo)入濾網(wǎng)上游即可,。